4.4.1 В качестве рабочих средств измерений используют рельефные меры в диапазоне от 10 
до 10 
м, электронные растровые измерительные микроскопы в диапазоне от 10 до 10 
м и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10 до 10 
м.
4.4.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей 
рабочих средств измерений составляют от ±10 до ±1000 нм.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные
Список использованной литературы
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1х10_(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
