Si/SiO2. , , - (), , . , - -. , , ( , ).
-. , . . 3.6 , [13]. n - 48 . 2,2 1 (Si). 1 , 10 /. (Cfb), (Cmg) (Cinv). , 0 , j B 2j B , j B ,
, (3.7)
q ; k ; ; ND ni .
, - [8, 13, 1517], D Vot, , . , . . , . , . , , D Vit, D Dit
, (3.8)
C 0 ( ).
. 3.6. , - n - 2,2 1 (Si) [13]
, n - . 3.6, - ,
p - . , , -, - , n - . , . , : , Si/SiO2. , . , .
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. . [18]
, (3.9)
C 0 = e ox e0/ tox (); e ox ; e0 ; tox ; j s ; Vg ; CD (j s) () , .
. -, 0, CD, j s ( CD j s , ., , [18]). , j s (Vg). j s , (3.9), Dit (j s). Dit (j s) ( ).
-. - . , , .. , , . . . 3.7 , : .
. 3.7. - n - : ;
. 3.7 j B £ j s £ 2j B, j B (3.7).
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j = kT / q, Id [8, 17]
, (3.10)
D ; W, Lc ; Nsub ( ); LD ; b = q / kT.
, , (3.10) , , lg Id = f (V g), , ( Nit ).
, , . . , ,
lg Id = a 0 Vg + a 1, (3.11)
0, 1 .
j B £ j s £ 2j B (3.10) , (3.11) . , j s (Vg). j s , (3.9), Dit (j s). Dit (j s) , j B £ j s £ 2j B.
D Vg, ( 10 ).
.
Vth Qot, [18]
, (3.12)
j ms ( ) ; Qot, Qit Qs ,
.
Qit
, (3.13)
Qs, ,
, (3.14)
e s .
. 3.8. n - - 500 (Si) [13]
, , (.. ). (3.10) , j s = j B, (3.11) Vmg. . 3.8 n - 500 (Si) [1]. 1,5 2 ~4 / 5 , .. . , .
. , D Vot, , , , .. D Vot = D Vmg, D Vth , . D Vit, , , .. , .. D Vit = D Vth D Vot.
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