:
;
.
. 3.19 [38].
. 3.19. , [38]
[13, 38, 39]
, (3.22)
a ; Si/SiO2; b , .
, ptun , , Si/SiO2.
. xm (t), , , t, [38, 39]
, (3.23)
t 0 , .
, , , . ,
, Si/SiO2. SiO2
0,20,4 /( ) [39]. ~ 4 , .
, , , . , . , , , .
pem , [38, 40]
, (3.24)
j t ; , .
, . , . 3.16. . , , ,
[38, 40]
|
|
. (3.25)
[38] , . , pt (x, j t, t) , , [38]
, (3.26)
p 0(x, j t) .
(3.26), .
, . Si/SiO2. . , . [39]. . 3.163.18 , , , , , , . , [13], , , , , , .
, . , , . . , .