, , . - , , .
[3]. : , - , ( ) , , . , , [2, 3].
, , , . , ( , .) , , .
- j, [3]. , b I 0 :
; , (2.15)
b0 I 0 (0) ; b I 0 ; b t I 0 t .
n-p-n- 2312 [3], b I 0 . 120 140 , 0,5 jb = 0,35, 5 jb = 0,05. , b , - , 2312 [3]. 250 , 5 , b . , , - [3], . I 0 140180 , .
|
|
( 1311, 1313) b I 0 , . 150 I 0 b . , , , , .
214 231 [3], -, £ 400 U 400 . , : 2911
220300 U t 20 ( ) [3].
, , , , .
.
, 2306 [3]. 5 7∙1015 2 400 30 2306 (+300 , 50 ) (b, ts) +125 . ( b ts) .
, ( ) , ( 34 ) .
|
|
, , (, ). . (, , ) , , [3].
3 Si/SiO2
Si/SiO2. ( , - -) ( ). - . : -, , , . . (.. , , ), : 103104 - ( ). ( , - ).
3.1 Si/SiO2