Лекции.Орг


Поиск:




Категории:

Астрономия
Биология
География
Другие языки
Интернет
Информатика
История
Культура
Литература
Логика
Математика
Медицина
Механика
Охрана труда
Педагогика
Политика
Право
Психология
Религия
Риторика
Социология
Спорт
Строительство
Технология
Транспорт
Физика
Философия
Финансы
Химия
Экология
Экономика
Электроника

 

 

 

 


Рекомбинационные потери на поверхности




Как известно, на поверхности полупроводникового кристалла существует гораздо большая плотность рекомбинационных центров, чем в объеме. Т.е. на поверхности условия для рекомбинации благоприятнее. Чтобы разобраться, как влияет на эти процессы радиация, надо сначала рассмотреть существующие модели центров рекомбинации на поверхности. В современных приборах вся активная поверхность кристалла, не занятая омическими контактами, защищена пленкой термически выращенного диоксида кремния SiO 2. Следует рассмотреть некоторые особенности границы раздела Si - SiO 2

· Из-за разницы коэффициентов линейного расширения кремния и диоксида кремния (почти на порядок) на границе раздела существуют механические напряжения. Причем приповерхностная область кремния оказывается растянутой, а пленка окисла сжатой. При этом максимальная величина напряжений приходится на границу раздела, а в глубь окисла и кремния напряжения спадают (рис. 10).

Рис.10. Распределение механических напряжений на границе раздела кремний - диоксид кремния

 

· Граница раздела Si - SiO 2 представляет собой переходную область переменного состава, распространяющуюся частично в кремний, частично в SiO 2. Из-за несоответствия расположения атомов кислорода и кремния и расстояний между ними часть валентных связей на границе раздела оказывается в напряженном состоянии (НС), а часть – оборванными (ОС) (рис. 11). Область переменного состава имеет протяженность около 2 нм, а дефектная область распространяется на большие расстояния.

Рис.11. Модель напряженных и оборванных связей

на границе разделаSi - SiO 2

 

· Оборванные связи представляют собой поверхностные состояния, и для уменьшения их количества используют некоторые технологические приемы, в частности выращивают пленки SiO 2 в атмосфере влажного кислорода, когда оборванные связи заполняются атомами водорода или группами ОН, или проводят так называемое хлорное окисление (в парах соляной кислоты), когда связи заполняются как водородом, так и хлором.

Процессы рекомбинации на поверхности характеризуются скоростью поверхностной рекомбинации s, которая пропорциональна концентрации центров поверхностной рекомбинации Nst, а также зависит от поверхностного потенциала j s, определяемого как разница между собственным потенциалом и потенциалом Ферми на поверхности.

Общий вид зависимости s от j s показан на рис.12 для двух значений Nst.

Считая, что основную долю в RS составляют потери на поверхности эмиттерного перехода, можно использовать для тока поверхностной рекомбинации эмпирическое выражение, аналогичное выражению для тока объемной рекомбинации в ОПЗ:

Рис.12. Зависимость скорости поверхностной рекомбинации от поверхностного потенциала для двух значений концентрации рекомбинационных поверхностных центров

, (77)

где nS - некоторый коэффициент в пределах от 1 до 2, а

JS0 = , (78)

где - коэффициент пропорциональности.

Тогда для рекомбинационных потерь на поверхности имеем:

. (79)

Рекомбинационные потери на поверхности увеличиваются с увеличением соотношения и уменьшением тока коллектора.

Таким образом, мы рассмотрели все составляющие рекомбинационных потерь, которые определяют коэффициент передачи тока транзистора.





Поделиться с друзьями:


Дата добавления: 2016-11-18; Мы поможем в написании ваших работ!; просмотров: 538 | Нарушение авторских прав


Поиск на сайте:

Лучшие изречения:

Настоящая ответственность бывает только личной. © Фазиль Искандер
==> читать все изречения...

2340 - | 2065 -


© 2015-2024 lektsii.org - Контакты - Последнее добавление

Ген: 0.011 с.