.


:




:

































 

 

 

 


,




: / , .

: , . 5.

. :

(1) ( CF4 - - ), . , , , [. 6].

(2) ( ) / .

(3) , , . 200 ppmv. , , [. 6].

(4) , , . . 6.4.

, , 1 . 60480 [1.18].

:

, , , , , . , , . , .

(1) . .

(2) .

(3) " ", .. . , , , , , . , , , . , , , .

(4) . , , , . , , .

: , . , , . , . , , . , . , , 2 , , . , , , .. .

, ,

- ( , , CF4);

-

-

, , , , , 3, .

, , , , 5.

, - , . , . , . , . 5.4.

, , , .

, CF4 , . SF6 ( % vol), 100% SF6. , . 1 %.

, . 2, -, SO2 SOF2, . 1 50 ppmv, , , SO2 SOF2, 50 ppmv,- 12 ppmv. (), SO2 SOF2

, SO2 SOF2. ppmv, ppmv. , .

, , (. 4 2). 10 . , . 4.

, . 1, . , .

, 6 1, . , , , , . , , , .. . 2 4.

 

 

. 5:

 

 





:


: 2016-10-23; !; : 322 |


:

:

, , . , .
==> ...

1676 - | 1507 -


© 2015-2024 lektsii.org - -

: 0.011 .