: / , .
: , . 5.
. :
(1) ( CF4 - - ), . , , , [. 6].
(2) ( ) / .
(3) , , . 200 ppmv. , , [. 6].
(4) , , . . 6.4.
, , 1 . 60480 [1.18].
:
, , , , , . , , . , .
(1) . .
(2) .
|
|
(3) " ", .. . , , , , , . , , , . , , , .
(4) . , , , . , , .
: , . , , . , . , , . , . , , 2 , , . , , , .. .
, ,
- ( , , CF4);
-
-
, , , , , 3, .
, , , , 5.
, - , . , . , . , . 5.4.
, , , .
|
|
, CF4 , . SF6 ( % vol), 100% SF6. , . 1 %.
, . 2, -, SO2 SOF2, . 1 50 ppmv, , , SO2 SOF2, 50 ppmv,- 12 ppmv. (), SO2 SOF2
, SO2 SOF2. ppmv, ppmv. , .
, , (. 4 2). 10 . , . 4.
, . 1, . , .
, 6 1, . , , , , . , , , .. . 2 4.
. 5: