SF6, , 2 3- :
60376 [1.16] ( ) , .
60694 [1.17] ( ) , .
60480 [1.18] ( ) .
.
2: 60376 60694 , 60480. (% vol ppmv), , .
60376 1 . 1971 . () | 60480 () | 60694 . 2.1 2001 . () | |
CF4, C2F6 | 0,05 % 0,05 % | 3 % vol total | |
WF6, SOF4 SOF2, SO2, SO2F2 SF4, HF | 1 ppmw total | 50 ppmv total 1) | |
15 ppmw | 750 ppmv p < 200 2) 200 ppmv p > 200 2) | < - 5, 2000 ppmv 200 530 ppmv 750 | |
( ) | 10 /3 |
1) , , 12 ppmv S02 + SOF2, . 2, 2.
2) p < 750 k, , ( , ), p < 200 k , ( ).
, 2, , , , , , ( 60376) .
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4 :
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- , "" , C (SO2+SOF2) - SO2 / SOF2.
, :
C(so2+soF2) < 100 ppmv, ;
C(so2+soF2) > 1 % vol, .