Фильтры: Входной фильтр для улавливания частиц и стандартный газовый фильтр / фильтр для поглощения влаги
Проверки качества после фильтрования:
Химически не активные газы: Онимогли быть введены при проведении газотехнологических операций и не улавливаются фильтрами. Их наличие необходимо проверить в резервуаре для хранения.
SO2/SOF2: Проверка не требуется, т.к. эти газы присутствуют в регенерированном газе только в малых количествах и улавливаются газовыми фильтрами / фильтрами для поглощения влаги.
Влага: Влагу также необходимо удалять. Рекомендуется проводить проверку содержания влаги непосредственно после заполнения оборудования, для того, чтобы убедиться, что влага не была введена в процессе заполнения.
При возникновении каких-либо сомнений относительно функциональных возможностей регенератора (возможное насыщение газового фильтра / фильтра поглощения влаги, неправильное обслуживание и т.д.) в качестве способа проверки работоспособности регенератора рекомендуется до повторного использования газа проводить его проверку на содержание влаги в контейнере.
Газотехнологические операции с однократно используемым газом. Газ не подвергающийся воздействию дуги может использоваться только однократно из-за загрязнения химически не активными газами (в основном, воздухом), в результате ошибочного выполнения газотехнологических операций. Загрязненный, таким образом, газ может использоваться повторно только после проведения специальной очистки, которую обычно выполняют только в специальных компаниях, проводящих рециркуляцию газа. Так как загрязняющие вещества нетоксичны, газ может транспортироваться в эти компании в тех же условиях, что и новый элегаз [См. главу 6].
Газ подвергающийся воздействию дуги
Фильтры: Предфильтр для улавливания частици стандартный газовый фильтр / фильтр для поглощения влаги
Проверки качества после фильтрования:
Химически не активные газы: Они могут присутствовать в регенерированном газе в результате образования CF4 из-за эрозии полимерных материалов, вызванной дуговым разрядом, и наличия воздуха, просочившегося в ходе проведения газотехнологических операций. Проверка на наличие в газе этих загрязняющих веществ должна проводиться в контейнере для хранения.
SO2/SOF2: Хотя эти газы должны поглощаться газовым фильтром / фильтром для поглощения влаги, рекомендуется проводить проверки на содержание в газе этих загрязняющих веществ, должны проводиться в контейнере для хранения, для обеспечения эффективной работы всех фильтров регенератора.
Влага: Если проверка на содержание SO2/SOF2 дает приемлемый результат, то можно считать, что газовый фильтр/ фильтр для поглощения влаги также поглотили влагу. Поэтому обычно считают достаточным провести проверку на содержание влаги, непосредственно после закачки регенерированного газа в оборудование.
Газотехнологические операции с однократно используемым газом. Газ, подвергающийся воздействию дуги, после регенерации может стать однократно используемым газом по двум причинам:
(1) Газ может быть загрязнен химически неактивными газами, которые не могут поглощаться фильтрами. В этом случае требуется его дальнейшая обработка. Так как химически неактивные загрязняющие вещества являются нетоксичными, то газ может транспортироваться в фирму, осуществляющую регенерацию, как новый элегаз [См. главу 6].
(2) Газ может быть загрязнен химически активными газообразными продуктами разложения в результате неэффективной работы газового фильтра / фильтра для поглощения влаги. В этом случае газ после замены фильтров можно вторично пропустить через регенератор.
