:
- ;
- ;
- .
(, , (.. ).
:
1. ( ):
- ; - ; - .
2. ( ).
(B2H6, PH3).
- , ;
- , , , .
(/3) (B2H6)0,5, (PH3) 0,1, (AsH3) 0,3, (SbH3) 0,05.
() , (B2O3 P2O5) .
.
B2O3 , 1200:
4BN+3O2→2B2O3+2N2
, 700 1200 :Al(PO3)3 → AlPO4+P2O5.
1 , 2 , 3 , 4 , 5 , 6 , 7 .
- , ;
- 40 60 1250 0,25 0,5 ;
- 1200 (SiC).
-
.
- .
(N2, Ar) .
, . 0,5 1,5 /.
|
|
.
.