Ћекции.ќрг


ѕоиск:




 атегории:

јстрономи€
Ѕиологи€
√еографи€
ƒругие €зыки
»нтернет
»нформатика
»стори€
 ультура
Ћитература
Ћогика
ћатематика
ћедицина
ћеханика
ќхрана труда
ѕедагогика
ѕолитика
ѕраво
ѕсихологи€
–елиги€
–иторика
—оциологи€
—порт
—троительство
“ехнологи€
“ранспорт
‘изика
‘илософи€
‘инансы
’ими€
Ёкологи€
Ёкономика
Ёлектроника

 

 

 

 


ќсобенности применени€ чистых легирующих элементов




»спользовать чистые легирующие элементы в качестве источников примеси в процессе диффузии затруднительно:

- Ѕор €вл€етс€ тугоплавким элементом и при температуре диффузии имеет ничтожно малую упругость пара;

- ‘осфор при нагреве легко воспламен€етс€;

- ћышь€к Ц высокотоксичен.

—пособы диффузионного легировани€

¬ качестве источников примеси примен€ют различные соединени€ (ангидриды, галогениды, гидриды легирующего элемента (т.н. диффузанты).

ѕо способу нанесени€ диффузанта процессы различают:

1. Ќанесение диффузанта на пластины в ходе диффузии (внешний источник):

- твЄрдый источник; - жидкий источник; - газообразный источник.

2. Ќанесение диффузанта на пластины кремни€ до диффузии (примесные покрыти€).

ƒиффузи€ из жидкого источника

ƒиффузи€ из газообразного источника

»сточником примеси €вл€етс€ баллон со сжатым газом (B2H6, PH3).

ќсобенности диффузии из газообразных источников

- ћетод характеризуетс€ высокой технологичностью, воспроизводимостью и легкостью управлени€ концентрацией примеси;

- Ќедостатком метода €вл€етс€ высока€ токсичность гидридов, что требует тщательной герметизации элементов установки, сбора продуктов реакции на выходе, контрол€ производственной атмосферы.

ѕƒ  (мг/м3) диборана (B2H6)Ц0,5, фосфина (PH3)Ц 0,1, арсина (AsH3) Ц 0,3, стибина (SbH3) Ц 0,05.

ƒиффузи€ из твЄрдого источника

“вЄрдый планарный источник (“ѕ») Ц пластина, содержаща€ твЄрдый диффузант (B2O3 или P2O5) и инертную тугоплавкую основу.

“ѕ» располагают непосредственно в зоне диффузии между кремниевыми пластинами.

јкцепторные “ѕ»

ѕредставл€ют собой кремниевую пластину с нанесенным слоем B2O3 либо пластину нитрида бора, обработанную в сухом кислороде при температуре 1200∞—:

4BN+3O2→2B2O3+2N2

ƒонорные “ѕ» ѕримером может служить пластина метафосфата алюмини€, который в диапазоне температур 700 Ц 1200 ∞— разлагаетс€ по реакции:Al(PO3)3 → AlPO4+P2O5.

“ехнологи€ диффузии из внешнего источника

1 Ц источник жидкогодиффузанта, 2 Ц вентиль, 3 Ц ротаметр, 4 Ц кварцева€ труба, 5 Ц газосмеситель, 6 Ц нагреватель, 7 Ц кварцева€ кассета с пластинами.

ќсобенности устройства реактора

- ƒиффузи€ проводитс€ в кварцевой трубе,снабженной резистивным нагревателем;

- ¬ зоне диффузии длиной 40 Ц 60 см поддерживаетс€ температура до 1250 ∞—с точностью ± 0,25 Ц 0,5 ∞—;

- ѕри температурах более 1200 ∞— в качестве материала реактора предпочтительно использовать вместо кварца карбид кремни€ (SiC).

«агрузка - выгрузка пластин

ƒл€ групповой загрузки пластин примен€ют кассеты из кварцевого стекла или карбида кремни€.

ƒл€ загрузки-выгрузки кассет используют стержень с крючком либо консольный загрузчик.

 

«агрузка Ц выгрузка в вертикальном реакторе

ѕодача диффузанта

ƒл€ насыщени€ парами диффузанта

транспортирующий газ (N2, Ar) пропускаетс€ над жидкостью либо барботируетс€ через нее.

ѕитатель источника диффузанта, как правило помещают в термостат. –асход транспортного газа составл€ет 0,5 Ц 1,5 л/ч.

ѕри посто€нном расходе транспортирующего газа концентраци€ диффузанта в нем регулируетс€ температурой источника.

ѕри необходимости окислени€ кремни€ кислород подают в смеси с транспортным газом.





ѕоделитьс€ с друзь€ми:


ƒата добавлени€: 2016-03-26; ћы поможем в написании ваших работ!; просмотров: 763 | Ќарушение авторских прав


ѕоиск на сайте:

Ћучшие изречени€:

Ћюди избавились бы от половины своих непри€тностей, если бы договорились о значении слов. © –ене ƒекарт
==> читать все изречени€...

1698 - | 1507 -


© 2015-2024 lektsii.org -  онтакты - ѕоследнее добавление

√ен: 0.007 с.