Получение монокристаллического кремния: 1.Получение металлургического кремния;
2. Синтез трихлорсилана;3. Получение электронного кремния;4. Выращивание монокристаллов.
1-Схема получения металлургического кремния
2-Синтез трихлорсилана
1. Измельчение металлургического кремния;
2. Обработка в парах соляной кислоты при температуре 300°С;
3. Конденсация и фракционная дистилляция SiHCl3
Получение электронного кремния
Осуществляется осаждением из парогазовой смеси трихлорсилана и водорода при температуре 1200 °С:
Выращивание монокристаллов
Осуществляется вытягиванием слитков из расплава электронного кремния по методу Чохральского.
Полупроводниковая подложка Ø100 мм
Конструктивные элементы подложки
- Основной (или базовый) срез подложки предназначен для базирования (ориентации) пластин в технологическом оборудовании. В последующем параллельно базовому срезу будет располагаться одна из сторон кристалла ИМС.
- Скругление края по периферии подложки производится с целью предотвращения появления сколов и трещин.
- Дополнительные срезы служат для визуального определения ориентации, типа электропроводности и удельного сопротивления кремниевых пластин и наносятся относительно базового под углом 45, 90 или 180°.
Требования к качеству полупроводниковых подложек Условно делят на две группы:
Требования к геометрическим параметрам (допуск на диам, толщина, отклонение толщ и тд)
Требования к качеству поверхности.(1. Шероховатость поверхности;2. Глубина нарушенного слоя;
3. Минимальная дефектность.)
Характерные особенности механических свойств полупроводниковых материалов
1/Высокая твёрдость и хрупкость (непригодны традиционные методы, та-
кие как точение, фрезерование, сверление, штамповка).
2. Единственным доступным методом является механическая обработка с применением связанных или свободных абразивов.
=Технологический маршрут изготовления подложек
- Калибровка слитка; - Ориентация и резка слитка;- Снятие фаски;- Двухстороннее шлифование;
- Финишная полировка планарной стороны;- Контроль качества поверхности.
Калибровка слитка 
Резка слитка алмазным кругом с внутренней режущей кромкой (АКВР)
1 – цилиндрический барабан;
2 – алмазный круг с внутренней режущей кромкой;
3 – оправка;
4 – слиток;
Резка слитка проволочной пилой
4 – слиток;
5 – подающий ролик;
6 – тонкая проволока;
7 – направляющие ролики;
8 – форсунки для подачи суспензии;
9 – приемный ролик
