Светочувствительный компонент в диазоплёнке — соль диазония. Это органическая молекула размером примерно 1,5 нм, которая содержит два связанных атома азота. На экспонированных участках соль диазония разлагается и теряет способность к реакции азосочетания. На участках, не подвергнутых действию света, из соли диазона и азокомпоненты при проявлении образуется азокраситель, например, 
, цвет которого зависит от строения радикалов Аr и Аr2. Обработка, необходимая для получения красителя,
— сухая, в парах аммиака. Время получения изображения 1...3 с. Светочувствительность диазографических плёнок 5 
, разрешающая, способность 100 
, коэффициент контрастности 3...4.
Как было сказано ранее, диазоплёнка — позитивно работающая система: там, где плёнка освещалась, не будет зачернения изображения. Когда экспонирование производят в области, близкой к ультрафиолетовой, диазомолекулы разлагаются на два неактивных бесцветных компонента. Величина экспозиции также важна, как и для серебросодержащих фотоплёнок, но эффект от неправильно выбранной экспозиции другой. Если оригинал — негатив, большая экспозиция увеличивает ширину линии (цветную область), пробельные элементы уменьшаются. При меньшей экспозиции уменьшаются линии (цветные области) и плотность цвета.
Чтобы правильно установить экспозицию, диазоплёнку экспонируют через оригинал, содержащий 21-ступенчатую шкалу плотностей. Когда экспозиция установлена по наиболее хорошо воспроизведенному окну шкалы плотностей, к ней немного прибавляют выдержку, чтобы уверенно воспроизвести тонкие линии.
Во время проявления плёнка подогревается и обрабатывается в парах аммиака 
. Аммоний разрушает защиту в светочувствительном слое и приводит диазо-соль к реакции окрашивания двух составляющих.
Одна составляющая абсорбирует голубые лучи и образует желтое визуально прозрачное изображение. Другая тоже визуально прозрачная, но непрозрачная для УФ-лучей, используемых для экспонирования фоторезистов.
Для проявления используется специальный процессор, в котором для проявления используется . Температура поддерживается в диапазоне 60..70°С Большая температура приводит к повышенной деформации полиэфирной основы.
После проявления формируется окрашенное изображение на неэкспонированных участках и прозрачное—в области экспонирования не требуется больше никаких обработок. Диазопленки трудно перепроявить. Однако, недопроявление уменьшает оптическую плотность фотошаблонов.
