.
- . , , , . , , .
.
:
(10200 );
, (, .);
;
, .
.
. : N ≥ r 0/λ, N ; r 0 , .
1. , ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. , ?
7. -, ?
8. .
9. ?
10. , ?
11. , ?
12. - ?
13. , ?
14. ? .
15. ?
16. SiO2?
17. SiO2 Si3N4?
|
|
18. - ?
19. - , ?
20. - ?
21. ?
22. .
23. 0,5 ?
24. ?
25. , ?
26. ?
27. , ?
28. ? ?
29. ? ?
30. ?
31. ?
32. , ?
33. .
34. ?
1. : , .
2. : , .
3. - .
4. - .
5. : () .
6. : , .
7. . .
8. .
9. : , .
10. ( , , ).
11. ( -).
12. (, , - .).
13. . .
14. (-, - , .).
15. : .
16. , -Si, SiO2 ..
17. ( , , .).
18. ( , , , .).
|
|
19. , .
20. .
21. - .
22. () .