1) p-
2) SiO2
3) SiO2
4)
5)2-
6) n+
7)
8)3- SiO2 ,
9)- Al
10)4- Al
- . . :1) p-n 2) 3)
1. , ?
. , . , , , .
- . =lgN, N ().
, , , , , ..
. - . N 1 , () ( ) .
( ) , , .
2. ?
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3. () ?
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4. ?
: . - , . - ( ) (NaOH, KOH .). - -, (). SiO2 HF (KF, NaF, NH4F).
- . - , (). - HF . , . , .
: - . , (, ). H2 He2 (F, Cl, Br); HBr, HCl, H2S, CF6 . , . - (800-1300), .
- - - Si . . . . , .
- - , . Si, SiO2, Si3N4, . .
- -. - .
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5. ?
-, - - - . , , , . , , , : 1. - : - (, ); - (, ). 2. : -(, ); -.
, , . Si GaAs . . , -. , , , . . : , , . . , . . . , . . . . , , , -, - . - - , , , , .
, , . .
6. , ?
.. , . 1- p-n- . C f(S,N). U; Δ ≈ 20%; 1000 ; U = 7-10 .
: ; -; (1 ; 2 ; 3 )
- --, .. n+-SiO2-Al . , U ≤ 50 , α, = 104 /2. .
(SiO2 Ta2O5) (). U (- ), = 900 /2 (SiO2) 3500 /2 (Ta2O5), Δ - (5-10)%. .
7. , ?
Si . / . . . -.
, . - - Si - - -. . . 1-25 . . - - , - . - (SiH4).
, -n- , , .
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