2.3.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм.
2.3.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности 
результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,01+0,04 
) мкм, где - длина, м.
2.3.3 Эталоны-копии применяют для поверки вторичных эталонов - интерференционных установок для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм методом сличения с помощью мер сравнения, рабочих эталонов 1-го разряда - плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также установок для поверки средств измерений внутренних размеров методом сличения с помощью мер сравнения.
2.3.4 В качестве вторичных эталонов используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм и интерференционные установки для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм.
2.3.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей 
при доверительной вероятности 0,99 составляют от ±(0,02+0,1 ) мкм до ±(0,05+0,1 ) мкм, где - длина, м.
2.3.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров - измерительных колец методом прямых измерений и рабочих средств измерений - плоскопараллельных концевых мер длины методом прямых измерений.
