Перспективные технологические процессы при изготовлении датчиков и приборов кинематических параметров

МЭМС - новая технология изготовления микроскопических механизмов, использующая старые инструменты и методы, разработанные для индустрии интегральных схем. Такие механизмы изготавливаются на стандартных кремниевых пластинах.

Реальная мощь технологии МЭМС заключается в возможности одновременного создания на поверхности пластины множества механизмов без единой сборочной операции. Поскольку процесс подобен классической фотолитографии, изготовить на подложке миллион механизмов так же просто, как один.

Рассмотрим основные технологии, использующиеся при изготовлении МЭМС. Объемная микрообработка - это производственный процесс, идущий от поверхности кремниевой пластины вглубь, при которой химическим травлением последовательно удаляются ненужные участки кремния, в результате чего остаются полезные механизмы. Традиционным фотоспособом на пластине формируется рисунок, защищающий те участки, которые необходимо сохранить. Затем пластины погружаются в жидкий травитель, в качестве которого может использоваться гидрооксид калия, уничтожающий незащищенные участки кремния.

Технология объемной микрообработки относительно проста и недорога.

Поверхностная микрообработка находится в противоположности объемной, ее суть заключается в последовательном наращивании слоев материала на кремний.

Процесс поверхностной микрообработки представляет собой повторяющуюся последовательность нанесения на поверхность пластины тонких пленок, формирования на пленке защитного рисунка методом фотолитографии и химического травления пленки. Чтобы создать подвижные, функционирующие мехонизмы, в слоях чередуют тонкие пленки конструкционного материала и заполнителя (абсаляционный материал). На последнем этапе заполнитель удаляется травлением, и конструкционные элементы приобретают подвижность и функциональность.

Рис. 14 Поверхностная микрообработка

Поверхностная микрообработка требует большего количества технологических операций, чем объемная. Она используется для создания сложных механических элементов.

LIGA- это технология, позволяющая методами рентгенолитографии создавать небольшие элементы с относительно большим отношением высоты к ширине. Процесс изготовления начинается с нанесения фотомаски на поверхность листа полиметилметакрилата (ПММА). Затем ПММА подвергается экспонированию рентгеновскими лучами высокой энергии. Экспонированные участки, не защищенные маской, удаляются с помощью подходящего травителя, в результате чего образуются точные микроскопические механические элементы.

Рис. 15 LIGA технология

 

Данная технология относительно дешева и используется, когда необходимо создать сложные механические элементы.

Глубокое реактивное ионное травление отличается от объемной микрообработки тем, что вместо влажного химического травления для создания фигур используется плазменное. Это позволяет намного гибче управлять профилями травления и существенно расширить ассортимент изготавливаемых элементов. Производственное оборудование для ионного травления весьма дорого, поэтому и элементы, созданные по этой технологии являются дорогими.

Рис. 16 Глубокое реактивное ионное травление

Интегральные МЭМС технологии. Так как для создания МЭМС используются те же технологии, что и для изготовления интегральных схем, можно формировать электронные схемы на одном кристалле с микромеханизмами. Это позволяет снабжать микромашины интеллектом и создавать новые устройства.

Рис. 17 Интегральные МЭМС технологии

6. Работа над оформлением заявки на полезную модель и изобретение на тему: «Трехкомпонентный струйный датчик угловой скорости»

Результатом прохождения производственной практики является оформление заявки на полезную модель и изобретение на тему: «Трехкомпонентный струйный датчик угловой скорости» (рис. 20).

Аналогами разрабатываемого трехкомпонентного датчика угловой скорости являются:

1. Двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости (патент № 2462723)

2. Двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости (патент №120233)

Двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости согласно патенту RU №110493 от 20.11.2011г. Бюл. №32 на полезную модель (рис. 14), содержит нагнетатель, формирующее сопло, измерительную схему, проволочные анемочувствительные элементы расположены друг относительно друга ортогонально в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” вращения объекта и закреплены на электропроводящих изолированных стойках одинаковой высоты, размещенных перпендикулярно плоскому основанию проницаемому для протекания струи и установленному перпендикулярно направлению ее течения в рабочей камере, причем первые концы всех анемочувствительных элементов электрически соединены между собой и закреплены на центральной стойке, а вторые концы каждого из анемочувствительных элементов закреплены на своих стойках, расположенных симметрично относительно центральной стойки в плоскостях вращения объекта, а измерительная схема образована из каналов измерения угловых скоростей в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” вращения объекта, в каждом из которых входы электроизмерительных схем подключены к соответствующим анемочувствительным элементам, а выходы электроизмерительных схем соединены соответственно с первыми и вторыми входами сумматоров и вычитающих устройств каждого из каналов измерения, при этом выходы сумматоров связаны со входами блоков коррекции чувствительности, выходы которых соединены с первыми входами усилителей информативных сигналов соответствующих каналов, а выходы вычитающих устройств связаны с вторыми входами усилителей информативных сигналов, выходы которых подключены к первому и второму входам блока преобразования информативных сигналов, выход которого связан с потребителем информации двухкомпонентного датчика угловой скорости.

Рис.18 Двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости

К недостаткам аналога следует отнести сложность технологической задачи получения после сборки датчика пневматического нуля, то есть совпадения центра параболического распределения скоростей ламинарной затопленной газовой струи в рабочей камере с центром осей симметрии расположения анемочувствительных элементов при отсутствии угловой скорости, заниженный диапазон измерения угловой скорости и недостаточная чувствительность к угловой скорости.

Наиболее близким по технической сущности к разрабатываемому датчику угловой скорости, взятым за прототип, является двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости согласно патенту RU №120233 от 10.09.2012г. Бюл. №25 на полезную модель (рис.15), который содержит корпус, рабочую камеру, в которой установлены нагнетатель и термоанеморезисторный узел, содержащий основание, установленное перпендикулярно направлению протекания струи газа и проницаемому для его протекания в рабочей камере, на котором перпендикулярно ему установлены изолированные стойки, расположенные друг относительно друга ортогонально в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” вращения объекта, на концах которых закреплены проволочные анемочувствительные элементы, причем первые концы всех анемочувствительных элементов электрически соединены между собой и закреплены на центральной стойке, высота которой больше высоты внешних стоек, а вторые концы каждого из анемочувствительных элементов закреплены на своих внешних стойках, расположенных симметрично относительно центральной стойки в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” вращения объекта, и включены в измерительную схему, которая образует каналы измерения угловых скоростей в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” вращения объекта, в рабочей камере введен блок формирования струи, включающий регулировочный блок, где выполнены каналы формирования струи, в каждом из которых установлены регулируемые заслонки, блок сопл, каждое сопло которого соединено со своим каналом формирования струи регулировочного блока, и оси которых расположены попарно под малым углом к оси симметрии рабочей камеры в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” измерения угловых скоростей, при этом в корпусе блока формирования струи перед регулировочным блоком образован переходной объем, который с каналами формирования струи регулировочного блока и соплами блока сопл образуют пневматические цепи формирования струи в рабочей камере.

Рис.19 Двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости

 

К недостаткам прототипа следует отнести отсутствие возможности измерения третей составляющей угловой скорости ω_z.

В данном пункте были представлены аналоги, схемотехническое построение которых наиболее близко к разрабатываемому датчику угловой скорости, были выявлены их достоинства и недостатки.

Функциональная схема представленного трехкомпонентного струйного датчика угловой скорости представлена на рис.16.

 

 

Рис. 20 Трехкомпонентный струйный датчик угловой скорости

Где:

1 – нагнетатель (источник пневмопитания); 2 – блок формирования струи в первой рабочей камере; 3 – корпус; 4 – первая рабочая камера; 11, 20 – основания; 6, 7, 9, 10, 13, 17,19, 22 – изолированные стойки; 12, 14 – анемочувствительные элементы вплоскости вращения“ yoz ”; 5, 8 – анемочувствительные элементы в плоскости вращения “ xoz ”; 18, 21 – анемочувствительные элементы в плоскости вращения “ xoу ”; 15 – блок формирования струи во второй рабочей камере; 16 – вторая рабочая камера; 23, 24, 25 – измерительные схемы; 26 - блок преобразования информативного сигнала; 27- измерительный блок.

Трехкомпонентный струйный датчик угловой скорости, содержит герметичный корпус 3, в котором последовательно расположены нагнетатель 1, первая рабочая камера 4 и вторая рабочая камера 16, в которых на входе размещены блоки 2, 15 формирования ламинарной струи. При чем блок 2 формирования ламинарной струи связан с выходом нагнетателя 1. На выходах рабочих камер 1, 15 расположены анемочувствительные блоки, содержащие плоские основания 14, 22, проницаемые для протекания струи и установленные перпендикулярно направлению ее течения, на которых установлены перпендикулярно им центральные стойки 13, 19 и электропроводящие изолированные стойки 9, 10, 11, 12, 17, 18, расположенные друг относительно друга попарно – ортогонально и симметрично относительно центральных стоек 13, 19 в плоскостях “ xoz ”, “ yoz ” и “ xoy ” вращения объекта, анемочувствительные элементы 5, 6, 7, 8, 20, 21, расположенные перпендикулярно течению струи, первые концы которых электрически соединены между собой и закреплены на центральных стойках 13, 19 соответственно, а вторые концы каждого из анемочувствительных элементов 5, 6, 7, 8, 20, 21 закреплены на своих стойках 9, 10, 11, 12, 17, 18 и включены в измерительные схемы 23, 24, 25 каналов измерения составляющих угловой скорости ω_х, ω_у, ω_z. измерительного блока 27. При этом в каждом из каналов входы элекроизмерительных схем 23, 24, 25 подключены к соответствующим анемочувствительным элементам 5, 6, 7, 8, 20, 21, а выходы связаны с блоком 26 преобразования информативного сигнала, выходом которого являются информативные сигналы по составляющим угловой скорости ω_х, ω_у и ω_z..

Таким образом, трехкомпонентный струйный датчик угловой скорости позволяет измерять угловую скорость в трех плоскостях “ xoz ”, “ yoz ” и “ хoу ”, то есть составляющие ω_х, ω_у и ω_z, которая может быть в других диапазонах, зависящих от длины второй рабочей камеры, а последовательная замкнутая пневматическая цепь повышает точность измерения за счет одинакового расхода газа в обеих рабочих камерах.

 

 

 

Выводы

1. Проведено ознакомление со структурой НИЧ КАИ.

2. Проведён патентно-реферативный поиск, в результате которого были определены основные направления развития принципов и схем построения ДУС, были выбраны аналоги, на основе которых построена функциональная схема датчика угловой скорости.

3. Проанализированы методы и средства измерения угловых скоростей.

 

 

 

Заключение

1. В течение производственной (исполнительской) практики было проведено ознакомление с перспективными разработками в области создания приборов и датчиков кинематических параметров, а также с их технологическими процессами.

2. В ходе прохождения производственной (исполнительской) практики проведена работа над оформлением заявки на полезную модель и изобретение на тему: «Трехкомпонентный струйный трехкомпонентный датчик угловой скорости.

3. В результате прохождения производственной (исполнительской) практики был приобретен опыт в выполнении практических разработок в качестве инженера – стажера.

Список использованной литературы

1. Солдаткин В.М. Методы и средства построения бортовых информационно-управляющих систем обеспечения безопасности полета. Казань: Изд-во Казан. Гос. Техн. Ун-та, 2004. 350 с.

2. Боднер В.А. Авиационные приборы. – М.: Машиностроение, 1969, с.178-180.

3. Горенштейн И.А., Шульман И.А. Инерциальные навигационные системы. – М.: Машиностроение, 1970.-232 с., ил.

4. Браславский Д. А., Петров В.В. Точность измерительных устройств – М.: Машиностроение, 1976, с.231.

5. Залмалзон Л.А. Аэрогидродинамические методы измерения входных параметров автоматических систем. – М.: Наука, 1973.- 464 с., ил.

6. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. Тул. Гос. Университет. Тула, 2002г.392 с.

7. Алексевич В.И. Методическая разработка по проведению группового занятия по учебной дисциплине «Авиационная метеорология». С-П.: Российский Государственный Гидрометеорологический Институт, 2006.

8. Власенко А. Интегральные гироскопы iMEMS – датчики угловой скорости фирмы Analog Devices.

9. Мартыненко Ю.Г. Тенденции развития современной гироскопии //Соросовский образовательный журнал, 1997, № 11.

10. Конструкциимикромеханических гироскопов и акселерометров инерциального модуля. Отчет о патентных исследованиях. С-П.: ЗАО "ГИРООПТИКА", 2005. 73 с.

 

 

Приложение 1

Таблица 1

№ п/п	Название охран-го документа	№, год класс МКИ, авторы, фирма	Цель	Сущность
1.	Двухкомпонентный струйный датчик угловой скорости	№ 120233 G01P3/26 Кравченко Н.А., Губайдуллин Д.Д., Порунов А.А., Кравченко А.Н., Юсупова А.Ф. ФГБОУ ВПО «КНИТУ-КАИ им. А.Н. Туполева»	Повышение эффективности работы	Датчик одержит корпус, рабочую камеру, нагнетатель, термоанеморезисторный узел, основание, установленное, изолированные стойки, расположенные друг относительно друга ортогонально в плоскостях “ xoz ” и “ yoz", проволочные анемочувствительные элементы, измерительную схему, которая образует каналы измерения угловых скоростей в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” вращения объекта, в рабочей камере введен блок формирования струи, включающий регулировочный блок, где выполнены каналы формирования струи, в каждом из которых установлены регулируемые заслонки, блок сопл, каждое сопло которого соединено со своим каналом формирования струи регулировочного блока, и оси которых расположены попарно под малым углом к оси симметрии рабочей камеры в плоскостях “ xoz ” и “ yoz ” измерения угловых скоростей, при этом в корпусе блока формирования струи перед регулировочным блоком образован переходной объем, который с каналами формирования струи регулировочного блока и соплами блока сопл образуют пневматические цепи формирования струи в рабочей камере.
	Микромеханический датчик угловой скорости	№2410701 G01P9/04 G01P15/00 Скалон А. И., Тыртычный А. А. Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения"	Повышение чувствительности и расширение диапазона измерений	Микромеханический датчикугловойскорости содержит основание и крышку, несущую раму, первую и вторую инерционные массы, закрепленные на упругих элементах подвеса, датчики положения каждой инерционной массы. При этом, дополнительно введены вторые датчики положения каждой инерционной массы, постоянные магниты, первый и второй компараторы, первый и второй ключи и источник постоянного тока, инерционные массы выполнены из монокристаллического кремния в виде пластин с прямоугольной оптической щелью каждая и закреплены в несущей раме с возможностью перемещения по двум взаимно перпендикулярным продольной и поперечной осям в плоскости, параллельной основанию, инерционные массы размещены в зазоре между постоянными магнитами, на поверхности каждой инерционной массы, параллельно поперечной оси, напылены токопроводящие дорожки.
	Датчик угловой скорости	№2405126 G01C19/56 Кандори Ацуси, Мадзима Масао, Нагае Кенити Япония Кэнон Кабусики Кайся	Повышение точности измерения	Датчик содержит эталонный вибратор, поддерживаемый таким образом, чтобы генерировать возвратно-поступательную вращательную вибрацию вокруг первой оси вращения как центра, и детектирующий вибратор, поддерживаемый эталонным вибратором таким образом, чтобы генерировать возвратно-поступательную вращательную вибрацию вокруг второй оси вращения, которая отличается от первой оси вращения, как центра, а также блок генерации эталонной вибрации для предоставления возможности эталонному вибратору генерировать возвратно-поступательную вращательную вибрацию и блок детектирования для детектирования величины смещения детектирующего вибратора относительно эталонного вибратора, который находится в связи с возвратно-поступательной вращательной вибрацией детектирующего вибратора.
	Способ измерения угловой скорости одноосным микромеханическим гироскопом и устройство его реализации	№2385462 G01P9/04 G01C19/56 Абутидзе Зураб Северианович, Кузнецов А. Г., Галкин В. И. и д.р. Открытое акционерное общество "Московский институт электромеханики и автоматики"	Повышение точности измерений	Изобретение относится к области авиационно-космического приборостроения и может быть использовано в пилотажных системах управления для измерения угловых скоростей подвижного объекта.
	Датчик угловой скорости с трехкратной модуляцией полезного сигнала на базе модуляционного гироскопа с индукционным измерителем модуляции	№2389031 2010г. G01P9/02 G01C19/02 Андреев А.Г., Ермаков В.С., Струк В.К. Открытое акционерное общество "Пермская научно-производственная приборостроительная компания"	Повышение точности	Датчик содержит ротор в виде параллелепипеда, помещенный в вакуумированную и вращающуюся вместе с ротором камеру, газодинамические сферические опоры, двигатель, устройство подачи питания и съема информации с ротора, магнитоэлектрический датчик момента, состоящий из двух катушек и постоянных магнитов, причем магниты помещены на роторе, а катушки за стенкой герметичной камеры. На валу гироскопа установлен усилитель канала обратной связи, включающей эталонный резистор и преобразователь напряжения в частоту. На вход усилителя подается сигнал с одной из катушек магнитоэлектрического датчика момента, выход усилителя подключается к входу другой катушки, выход которой подключается к входу эталонного резистора и к входу преобразователя напряжения в частоту, сигнал с которого передается с помощью токосъема на неподвижную часть гироскопа. Выход эталонного резистора подключается к общему проводу
	Способ измерения угловой скорости и вибрационный гироскоп для его осуществления	№2334197 2008г. G01C19/56 G01P9/04 Мезенцев А.П., Фролов Е.Н. Общество с ограниченной ответственностью "АЙСЕНС", Фролов Е.Н.	Повышение надежности и ресурса вибрационного гироскопа	Способ заключается в возбуждении поступательных колебаний балки, которая является частью рамки, вдоль некоторой оси, при этом об угловой скорости вращения судят по результатам измерения параметров угловых колебаний рамки вокруг оси, параллельной первой. Инерционный узел вибрационного гироскопа выполнен в виде жесткой П-образной рамки, концы которой связаны двумя плоскими пружинами с маятником в виде балки, параллельной средней перекладине рамки, и ступицы, связанной с концами рамки двумя торсионами. Техническим результатом является повышение надежности и ресурса вибрационного гироскопа при одновременном уменьшении его габаритов, упрощении конструкции и снижении его стоимости за счет исключения навесных упругих токоподводов, упрощения упругого подвеса и магнитной системы.
	Трехкомпонентный измеритель угловой скорости	№2004133601 2006г. G01P9/02 Богданов М.Б., Прохорцов А.В., Савельев В.В. Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Тульский Государственный Университет (ТулГУ)	Повышение точности измерения	Трехкомпонентный измеритель угловой скорости, содержащий первый, второй и третий датчики угловой скорости с взаимно перпендикулярными измерительными осями, отличающийся тем, что в него дополнительно введены первый, второй и третий трехвходовые сумматоры, первый, второй, третий, четвертый, пятый и шестой инвертирующие усилители, причем первый вход первого, второго и третьего трехвходового сумматора соединен с выходом первого, второго и третьего датчика угловой скорости, соответственно входы первого и второго инвертирующих усилителей соединены с выходом первого датчика угловой скорости, выходы третьего и четвертого инвертирующих усилителей соединены с выходом второго датчика угловой скорости, входы пятого и шестого инвертирующих усилителей соединены с выходом третьего датчика угловой скорости, второй и третий входы первого трехвходового сумматора соединены с выходом третьего и пятого инвертирующих усилителей, второй и третий входы второго трехвходового сумматора соединены с выходом первого и шестого инвертирующих усилителей, второй и третий входы третьего трехвходового сумматора соединены с выходом второго и четвертого инвертирующих усилителей, причем датчики угловой скорости могут быть выполнены в виде волоконно-оптических датчиков угловой скорости или в виде роторных вибрационных гироскопов, или в виде лазерных гироскопов, или в виде микромеханических гироскопов.
	Струйный датчик угловой скорости	№1082127 G01P3/26 Антонов В.П., Кравченко Н.А., Ференец В.А. и д.р.	Повышение точности измерения	Струйный датчик угловой скорости, содержащий корпус, в котором образован замкнутый газовый канал, в котором последовательно расположены нагнетатель, формирующее сопло, участки обратного тока газа и рабочая камера с установленными в ней дифференциально соединенными термочувствительными элементами, которые связаны с источником режимного тока и подключены к входам выходного усилителя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он дополнительно снабжен двумя источниками тока, задатчиком температуры, сумматором и схемой сравнения, при этом выход термочувствительных элементов через сумматор подключен к первому входу схемы сравнения, выход первого источника тока соединен с задатчиком температуры и вторым входом схемы сравнения, выход которой подключен к нагнетателю, выход второго источника тока подключен к одному из термочувствительных элементов.
	Струйный датчик угловой скорости	№ 1005560 G01P3/26 Антонов В.П., Кравченко Н.А., Ференец В.А. и д.р.	Повышение точности измерения	Струйный датчик угловой скорости, содержащий корпус, нагнетатель, замкнутую газовую цепь, состоящую из формирующего сопла, рабочей камеры и отверстий в корпусе, связывающих рабочую камеру с нагнетателем, чувствительные элементы, выполненные в виде двух металлических нитей, укрепленных на двух токоподводах-держателях и подключенных к схеме обеспечения режима постоянного сопротивления чувствительных элементов, устройство выделения информативного сигнала и винты установки пневмонуля, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, в него введены дополнительные токоподводы-держатели, по два к каждой нити, корректирующий резистор и устройство стабилизации тока чувствительных элементов, при этом дополнительные токоподводы-держатели соединены попарно с чувствительными элементами и подключены к устройству выделения информативного сигнала, корректирующий резистор подсоединен к дополнительным токоподводам-держателям различных чувствительных элементов, а устройство стабилизации тока через переключатель подсоединено к схеме обеспечения режима постоянного сопротивления чувствительных элементов.
	Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости	№2003102904 2004г. G01P3/02 Нестеренко Т.Г., Плотников И.А., Плотникова И.В. Томский политехнический университет	Повышение точности измерения	Двухкомпонентный микромеханический датчик угловой скорости, содержащий вибропривод, инерционную массу, установленную в корпусе на упругих опорах при помощи двухосного карданового подвеса, отличающийся тем, что чувствительный элемент установлен непосредственно на виброприводе, емкостные датчики расположены на осях подвеса чувствительного элемента, а вибропривод сообщает чувствительному элементу поступательное колебательное движение вдоль оси, перпендикулярной осям подвеса инерционной массы.
	Трехкомпонентный измеритель угловой скорости	№2196995 2003г. G01P9/02 В.В. Савельев, А.В. Похорцев, М.Б. Богданов Тульский государственный университет	Уменьшение погрешностей	Измеритель содержит три гироскопических датчика угловой скорости с взаимно перпендикулярными измерительными осями, три двухвходовых умножителя, три двухвходовых сумматора. В измеритель введены два интегратора, входы которых соединены с выходами первого и третьего датчиков угловой скорости. Выход первого интегратора соединен с входами второго и третьего умножителей, а выход второго интегратора соединен с входом первого умножителя.
	Трехкомпонентный измеритель угловой скорости	№2210780 2003г. G01P9/02 В.В. Савельев, А.В. Похорцев, М.Б. Богданов Тульский государственный университет	Уменьшения погрешностей трехкомпонентного измерителя угловой скорости	В трехкомпонентный измеритель угловой скорости, включающий первый, второй и третий гироскопические датчики угловой скорости, с взаимно перпендикулярными измерительными осями, первый, второй и третий двухвходовые сумматоры, при этом первые входы первого, второго и третьего сумматоров соединены с выходами первого, второго, третьего датчиков угловой скорости соответственно, введены первое и второе запаздывающие устройства, первый и второй измерители периода сигнала, первый, второй, третий трехвходовые умножители, при этом выход первого датчика угловой скорости соединен со входом первого запаздывающего устройства, выход которого соединен со вторым входом третьего умножителя, выход третьего датчика угловой скорости соединен со входом второго запаздывающего устройства, выход которого соединен со вторыми входами первого и второго умножителей, выход первого датчика угловой скорости соединен также со входом первого измерителя периода сигнала, выход которого соединен с третьим входом третьего умножителя, выход третьего датчика угловой скорости соединен со входом второго измерителя периода сигнала, выход которого соединен с третьими входами первого и второго умножителей, первый вход первого умножителя соединен с выходом первого датчика угловой скорости, а вход второго датчика угловой скорости соединен с первыми входами второго и третьего умножителей, при этом выход второго умножителя соединен со вторым входом первого сумматора, выход первого умножителя соединен со вторым выходом второго сумматора, а выход третьего умножителя соединен со вторым входом третьего сумматора.
	Трехкомпонентный измеритель угловой скорости	№2140088 1999г. G01P9/02 Савельев В.В., Яковлев А.Е., Богданов М.Б. Тульский государственный университет	Уменьшение погрешностей	Измеритель содержит три гироскопических датчика угловой скорости с взаимно перпендикулярными измерительными осями, три двухвходовых умножителя и три двухвходовых сумматора. Первые входы умножителей и сумматоров соединены с выходами соответствующих датчиков угловой скорости. Второй вход каждого умножителя соединен с выходом гироскопического датчика угловой скорости, измерительная ось которого перпендикулярна к измерительной оси и к оси подвеса гироузла датчика, подсоединенного к первому входу данного умножителя. Выходы умножителей соединены со вторыми входами соответствующих сумматоров.