--- () : SiO2 Si3N4. , - (28..30 ) SiO2 . , , SiO2 . (2830 ), , .
-- () () , , . p-n- , , , . . , .
. , , () , () . , -, .
() . 100 . . , . . Intel 2 . , .[1]
, -. . . . ( ) . . (- ) . . . ( ). () , ( 5001000 50-100 ). ( 5 ) , ( 0,01 ) , ( - ) . , . .[2][3]
(), . , (.)). , - .[4]