- . (~60 ). , .
, / . 6,67 . , . . , .
. ( 1,5 ) .
1 13,56 . 10 . . 10-20 , . , .
. , :
. 4.5. Si2:
) h t T=190C Ar;
) V P
U = 1200
30 . . - 2,5 /2 - . . 10% , , , , .. . , .
, . (100-200). , . .
|
|
- . , .. ().
5. . .
5.1. -
, , , . .
SiO2 . , SiO2 . (, , ..) ( ) .
, , . , , , :
( , , , ..);
;
, - ;
.
, :
;
(tg δ);
(ε);
.
5.2. SiO2
SiO2 - .
SiO2 0,51 , . (~1200C) . , .
:
. (5.1)
. (5.2)
, (5.2) , (5.1).
, , , :
, (5.3)
- .
SiO2 :
) SiO2 SiO2;
|
|
) .
, , .
, :
) ( ) ;
) ;
) SiO2;
) Si, .
.5.1. Si
. , .
. , j 1 = j 2 = j 3 , j 1 ; j 2 ; j 3 Si.
, :
j 2 , (5.4)
D ; , 2 (SiO2) ″-″; ( ).
(5.1) :
j 3 , k .
j 2 = j 3 ,
. (5.5)
, :
, (5.6)
, .
t = 0 . , , . (5.6)
, (5.7)
; .
, :
. (5.8)
:
1. : , = const .
2. : , / = const .
|
. 5.2.
|
. 5.3.
″″ , . .
, - . , SiO2, , , , ″″ .
, . () , ( ), ( ).
SiO2 :
(1) (T = 600-8000, R , C2H5, CH3);
|
|
(2) ( = 250-4000);
(3) ( = 200-2500).
SiO2- , SiH4 OC2H5. 0 4. SiO2 >700C , 10-15 .
700 , , , SiO2 , .
(1), (2) (3) . . .
. SiO2 . , , SiO2 , . 5.4:
. 5.4. SiO2
( Si4)
, (3), , . , 500-5500 SiCl4 (SiF4) .
SiO2 (2) (3) .
Si3N4, Al2O3, TiO2, Ta2O5. , Si3N4 - (~13000) . SiO2, .
Al2O3 , SiO2.