621.382.049.077 (075.8)
32.844.173
38
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38 - : / .., ... : -, 2006. 236 .
ISBN 5-321-00974-0
ISBN 978-5-321-00974-1
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210101 654100 , .
.: 36 . .136. .12.
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621.382.049.077 (075.8)
32.844.173
ISBN 5-321-00974-0 ISBN 978-5-321-00974-1 | Ó Ȼ, 2006 Ó .., .., 2006 |
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5.3.2. | ..................................... | |
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15. | ........................... | |
15.1. | (MEMS)............. | |
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. 1897 . 1905 . . , (1905) . 1923 , - .
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, Si ( , 1959 .). 1962 . , . , 1962 . :
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1.2.
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, (1.3)
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2.1.
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2.2.
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. 2.1.
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2.3.
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Si , :
Si + O2 SiO2 ; T = 1000-1300C, (2.1)
Si + 2H2O SiO2 + 2H2; T = 1000-1200C. (2.2)
(2.2) . , 2.1.
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. 2.2. Si
Si-: SiO2 , . Si SiO2 SiO2 . - .
2.4.
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2.6.
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(2.4)
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(2.6)
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2.7. ( )
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x ; Q ; Rn ; Δ Rn .
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