. () , .
, 0.4 - 5 . , , .
- , .
- .
.
- . . , .
, , . 0,1 10 /. , .
. . . , : HF; HNO3; 3 SiF4. , ≈ , .
. . . (100), (010), (001) 400 (111). , , , , .. (111). . , 54,70 .
|
|
. , - SiO2 HF , . , HF, .. SiO2.
, .
. - F2, Cl2, B2; HF, HCl; SF6 .. .
.
, . - - , , . .
( ) CF4 (-14), SF6 -12 CF4Cl. - , SiF4.
SiO2, Si3N4 .
, , , . 0,5 /.
(. ). . 13,56 . . .
, , . , SiO2 1 100 40 1 .
SF6 Si/SiO2. Si/SiO2 100. CF4+H2 SiO2/Si. SiO2/Si 35. - SiO2 .
, , ().
. - n- III V . , .. . , - .
|
|
, . , : 23(), r3(), F3() : 25(), Cl3(), 3().
. D. D 2/ t: . , Δ , .
: . , .
.
.
, Δl. Δl 0.8 , .
.
.
. .
.
- ( 20 2000 ). .
, , :
,
J1 , m , q , t .
100 100 1020 1021 /2. , . , ( ) . 10 500 .
.
. .
( ) -, , - - . , - , - .
- - - , . - - - , ; . .
|
|
. , Δ (≈50 ).
, , , , , .
900 10000.
, , ..
. . :
-
-
-
- .
0,1 1 . , .
- :
- ,
-
-
-
-
.
. , . , Ti-Pt, Ti-Pd-Au, Ti-Pt-Au.
, , . . : , - .
. . ≈ 10-4 .
. . , , . . , . . ≈0,1 /.
: ; .
: .
- . . - , , .
|
|
. . 1800 . . , , .
≈ 1 . ≈ 10 . 1 /.
:
, ;
;
;
.
: , .
. ., . (. .)
Ar 10 . . . Ar. Ar+ , . Ar+. , , , . . ≈0,01 /.
:
- , , ;
- , .
:
- , .
- , .
. . . , Ar+. , (≈1 /).
:
- , 10-2 , ;
- ;
- .
. . .
, , , .
, 200 300 0,5 . . , . . - , . .
, 200 300 0,5 . . , . . - , . .
|
|
- . , , , , , , .
, , . , .
, . : VT1 n-, VT2 -.
.
I. n- . ≈0,8 .
II. SiO2 . ≤ 0,5 n- -.
III. SiO2 SiO2 0,1 . ≈ 0,5 . SiO2 . n- -.
IV. , , , . ≈0,1 0,2 . - n+ - n-, + - -. SiO2 .
V. SiO2, .
VI. SiO2 , n+- + - . , .
1 - 2 1 2. 1 , 2 .
, : n- -, -.
.
. SiO2, , Si SiO.
. . , . - . . . . . IV. . , SiO2 , , , SiO2 . . .
AMD (Advansed Micro Device)( )
AMD. AMD Athlon 64 AMD Opteron 90 .
AMD , , 1/40 (≈0,6 ), 8 (200 ). .
5 . . , 200- 315 .
, - - . , . AMD Assemled in Malaysia ( ).
, . , .
. , , :
;
;
(SiO2);
;
;
;
;
.
, ( ) . .
(SiO2), .
, , . , .
. . KrF c λ = 248 .
- , .
.
.
. , , , , . , , .
8 . . : , , , , .
. .
. , ..
AMD Athlon 64 AMD Opteron 8- .
.
, , , : :
-n , Al III .
. Al. , , Al .
. 2,8 2/. 0,25- 100-200 /, 0,13- 400-800 O/.
AMD .
= 1,7 2/, ,
.
, .
, , ,
AMD , . AMD, 0,18- , . Intel , 0,13- .
.
. , . ≈ 10 Cr, Mo, Ta W, .
Cu2SO4, .
SiO2. .
. .
. . . .
, . , . , , , , , .