.
(- ) .
() .
. 12 ... , , , , , , , , , , , (α-Sn).
. , , Si x Ge1-x,GaAs1-x Px, , . . , AIV BIV, AIII BV, AII BVI, - .., A B ; ( ) - ( ).
B. , , , (SiC - ); - (InP - ); - (GaAs - ); - (InSb - ); - (ZnS - ) ..
, , :
- , , (, , );
- (, , , , , .);
- (, .).
- , Si GaAs , (), , , , , , (), SiO2 SiO2+Si3N4 ( ).
7∙10- 4 %.
Ge , , ( N03 HCl). , , , . Ge , , , . , - λ>1,8 .
> 600 Ge . GeO2 , SiO2 Si, Ge SiO2.
|
|
Ge, .. , . (700-900). Au, Al, Sb, - Al, Ga, P, As. p- In, Ga, Al, , .. n- - Sb As.
Ge . n-Ge > 550, , (), . p-Ge , .
Ge (. 3.2). - .
: - -, , , , , -, , , -, .
, Ge, I, , 402, 1508. Ge : 51-/30, - ; - ; - ; 5 - (5 ∙); - (15%); I - (5.104-3); - ( (100)); 30 - (30 ).
48-4-283-82.
5
Ge (29,5%), . , Ge, - , , , , , , Ge ( 2,33 /3).
, (~75%), , , , 9%, .
, - , - , .
1. , .
2. 10-3 ∙ () 1x 105 ( ).
3. , (, , , ).
4. , ( = 1412).
5. (2,3 /3) 3 10-6 -1.
6. ( 80 /∙, ).
|
|
7. - .
8. , .
Si . , , HN03 F . Si SiO2 900, = (1100-1300) Si3N4.
SiO2 Si3N4 , . SiO2 0,6 Si 1100 I , SiO2 0,1 . Si3N4 (1100-1200) Si.
SiO2 , .. , -n - .
Si, , , -, .
SiO2, F.
SiO2 , , ( 3.13).
3.13
) n-Si (I) SiO2
(2), (3);
) (p--4) (5) Al.
() () Si, , .. , , ( ), .
-, . . , . : - 2 - 1012 ∙ - , , .
Si , SiO2; , 400 . , SiO2 Si As, Sb. Si , As Sb , Sb.
Si: , , -, , 10 ( , Ge- (. 3.1), (U = 3-400 ), , , ( ), , , .
, .
SiO2, - . , , , .
SiC . , , , . , .
|
|
19658-81.
-2-1 - , (), () , (), 2 ∙ I (35%), "" (102,5 ), (III), "" ( (100) "" - (013).
Si "" (503 - , I39 - ) 2 (2605 - ).
, .. , , ( 3.14, ). :
100 (8-0,5)/(200 -0,01),
100 - ; 8- Si ; -0,5 - , , 0,5 /□; 200 - Si ; -0,01 - , , 0,01 /□.
- , (), - - - , , ( 3.14, ).
3.14
;
-
Si - AIV IV.
- , .. 2 : , SiC, Si ( 3.15).
SiC 100 , Si .
3.15
: (2,3-3,33) , (0,33-1) 2/(.). . SiC , . SiC .
SiC , , . SiC (70% Si %) . (N,P,As, Sb,Bi) F Si n-, Ca, Mg - ; , Al,Ga, In -, p-. Si n-SiC, - -SiC.
SiC = 1800-2200). (N, , As, Sb, Bi) , Si -n- SiC, , n- . p-n- . SiC , , , , ( ) , , , , .
|
|
SiC - , () ().
SiC , ( 3.1), , .
3.6.6. AIII BV
III .. (, Al, Ga, In) - N, , As, Sb.
60- XX , : GaAs - , GaP - , InSb - , InAs - , In - .
AIIIBV , .
1) 1.1018 -3
. AIIIBV - .
2) AIIIBV -.
( 3.16).
3.16
3) AsCl3, AsH3, PH3,
AIIIBV
, , .
,
, . , - , - .
5) By - As , .. :
III BV - III () + 1/2 2 ().
, .
GaAs. - ( 3.17).
|
3.17
, 1962.
, .. ( ) -n . , -n . GaAs -, - . , , GaP, 1,7 .
AIII BV (. 3.2) -, . GaAs , . GaAs , , , - .
AIIIBV (InSb, InAs), , .
3.6.7. AIIBVI
- , , . - , , , (AIIBVI) (AIVBVI).
, Si, Ge, AIIIBV, . . AIIIBV aPb ( , ), : 1)a≈Pb(dTe, ZnTe); 2)P< (CdS, ZnTe, CdSe); 3)(PbS, PbSe, PbTe), .. AIIBVI :
|
|
2IIBVI → 2II + B2VI
AIIBVI , . , CdS, ZnS, CdSe, ZnSe n- , Zn - p-. CdTe n- p- . , AIIBVI .
. CdS : 104 - 106 .
ZnS ZnS + ZnSe ZnS + CdS. - , .
b -.
PbTe , (300-700), . AIIBVI =10%.
- AIIBVI - CdHgTe (). (-196), . - . , , () , : - , - . - Hg , (30-50) , , .
, , . - , ,