HEMT (pHEMT) AlGaAs/InGaAs/GaAs , :
, , ;
νd ID VD DL;
νd , : (VD<VDsat) (VD>VDsat);
.
pHEMT- AlInGaAs 1.
1 AlGaAs/InGaAs/GaAs pHEMT- |
, ID W () :
, | (23) |
q , νd , μ . HEMT-, , :
, | (24) |
νd :
, | (25) |
p - ( , , p - - ):
, | (26) |
ns, 1, 2 3 (. 2):
, | (27) |
Vg (VD =0):
, | (28) |
(d ()), VT , :
, | (29) |
Δ AlGaAs/InGaAs, Nd , dd AlGaAs, db AlGaAs.
2
In
InyGa1-yAs | K1, | K2, · | K3, ·2 |
y =0,25 | -0,1426048438 | 3,611516096510-7 | -4,5985330244710-14 |
y =0,20 | -0,1436443456 | 3,6082639410-7 | -4,77106173510-14 |
y =0,15 | -0,1446398200 | 3,6045335310-7 | -4,929910028310-14 |
|
|
, VD , VD V(x) (28) :
(30) |
.
(24) (23) (28) (30), ID :
(31) |
VL=LEc (L ), .
, :
(32) |
, (. ), ΔL :
(33) |
1. a(x) AlxGa1-xAs InxGa1-xAs.
2. Eg(x) AlxGa1-xAs InxGa1-xAs. AlxGa1-xAs .
3. DEc(x) DEv(x) AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs.
4. ε(x) AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs.
5. Eg(x) AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs .
6. H(x) AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs.
7. smis(x), , AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs.
8. sα(x) AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs.
9. sΣ(x) AlxGa1-xAs/GaAs InxGa1-xAs/GaAs. smis(x) sα(x) (.7, 8).
AlInGaAs pHEMT-
1. , 1, .
2. 1, 2 3 2.
3. .
4. .
5.
Al x, .. | In y, .. | Nd, -3 | dd, | db, | d s, | L g, | |
0,15 | 0,25 | 1×1018 | 2,0 | 0,25 | |||
0,20 | 0,23 | 2×1018 | 2,5 | 0,5 | |||
0,25 | 0,20 | 3×1018 | 3,0 | 0,75 | |||
0,30 | 0,17 | 1×1018 | 3,5 | 1,0 | |||
0,35 | 0,15 | 2×1018 | 4,0 | 0,25 | |||
0,15 | 0,25 | 3×1018 | 4,5 | 0,5 | |||
0,20 | 0,23 | 1×1018 | 5,0 | 0,75 | |||
0,25 | 0,2 | 2×1018 | 2,0 | 1,0 | |||
0,30 | 0,17 | 3×1018 | 2,5 | 0,25 | |||
0,35 | 0,15 | 1×1018 | 3,0 | 0,5 |
|
|
:
(W) 50 ;
(μ) 7000 2/·;
(φb) 1 ;
- (VD) 03 ( 0,5 );
(Vg) -10 ( 0,1 ).
1) , , ,
1 AlAs, 2 InAs, GaAs, 1() a(x) AlxGa1-xAs, 2() a(x) InxGa1-xAs.
2)
Eg1(x) Eg(x) InxGa1-xAs, Eg2_1(x) Eg(x) , Eg2_2(x) Eg(x) , EgAC1 AlAs, EgAC2 InAs, EgBC GaAs, C1 () AlxGa1-xAs, C2 () InxGa1-xAs.
3)
InxGa1-xAs/GaAs, InxGa1-xAs /GaAs, AlxGa1-xAs/GaAs.