5.3.1. (, , - ). . PVD (Physical Vapour Deposition). - , , (, , , , ), , , ..
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. (-, -12, , , -1 .). . 5.11 . . , . (), 103 . , , , .
. . 20... 30 150... 300 . . . (1... 1,5 ) . 100 , () .
, . , , . , .
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. 5.11.
( TiN, TiC, ZrN .), . Ni - - 1 - Y . -1 (. 5.12).
0,7 3 . 7, . 2, . 9. 24 6 10. 72, . 7 3. 4, . 3 5 - , 1. 13. 8, 6 7, .
. , , , . 10-1 . 11 7, 5 - 0,01 /. 1 2 . 1000... 1200 40... 45 13. , 109... 10 /2. , . .
. 5.12. -1 - :
1 ; 2 ; 3 ; 4 ; 5 ; 6 ; 7 ; 8 ; 9 ;
10 ; 11 ; 12 ; 13 ;
14 -
( ) .
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, , . , 60- . . , . . 5.13.
. 5.13.
. 5.14. () ()
, (, .). (. 5.14) , . , Nb-Fe-B, 30 % .
. , -50 .
(EB-PVD) , (, W, Re, ..). . .. ( 175 137). - . 5.15. , , . , . 8,75 10-3 . .
. 5.15.
, . , , . -45 . . . . . , , . . ( ) . . ~1000 .
EB-PVD : , , , , . 3300 .
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