Ћекции.ќрг


ѕоиск:




 атегории:

јстрономи€
Ѕиологи€
√еографи€
ƒругие €зыки
»нтернет
»нформатика
»стори€
 ультура
Ћитература
Ћогика
ћатематика
ћедицина
ћеханика
ќхрана труда
ѕедагогика
ѕолитика
ѕраво
ѕсихологи€
–елиги€
–иторика
—оциологи€
—порт
—троительство
“ехнологи€
“ранспорт
‘изика
‘илософи€
‘инансы
’ими€
Ёкологи€
Ёкономика
Ёлектроника

 

 

 

 


излучени€ €вл€ютс€ галогенна€ лампа и объективы имеют большую апертуру

—хема классического интерференционного микроскопа, в которой источником

излучени€ €вл€ютс€ галогенна€ лампа и объективы имеют большую апертуру

 

»нтерференционные полосы малой когерентности наблюдаютс€ при равенстве оптических длин пути измерительной и опорной волн в пределах длины когерентности излучени€. ѕоложение опорного отражател€, при котором достигаетс€ максимум видности полос, характеризует рассто€ние до отражающей поверхности или границы внутреннего отражающего сло€ среды.

 

Х ’ороший контраст полос получаетс€ только в том случае, если два пучка интерферометра точно согласованы.

Х ≈сли в одном их пучков интерференционного микроскопа разместить объект, а другой пучок мен€ть, профиль объекта можно определить по позици€м, в которых полосы имеют максимальный контраст.

 

Ћокализаци€ сло€ среды при фокусировке (а)

и использовании излучени€ малой когерентности (б)

 

а) б)

 

Х –азмер области максимального контраста в поперечном сечении сфокусированного пучка определ€етс€ выражением Dx, Dy = 0,9<λ>, тогда как размер локализованной области по глубине фокусировки равен Dz = 1,8<λ> /A2. ј Ц числова€ апертура объектива

Х ≈сли учесть выражение дл€ средней длины когерентности

Lc 0,44<λ>2/Δλ,

получим дл€ разрешени€ по высоте:

Х ‘азова€ неоднозначность отсутствует.

√лавный недостаток этого типа интерферометров: при одном измерении получаетс€ только одно сечение профил€, - требуетс€ большое число измерений и большое врем€ дл€ исследовани€ объектов, которые имеют большую глубину профил€.

»нтерференционный микроскоп ћиро

The figure shows the optical path of a Mirau-interferometer. Reference beam (5-4-6) and object beam (5-7-6) have identical optical path length and can thus cause white light interference.

Parts of the Mirau interferometer: 1. Lens of the microscope, 2. Semitransparent mirror, 3. Object surface, 4. Reference mirror with reference beam, 5. First reflection of reference beam, 6. Third reflection of reference beam, 7. Reflection of object beam

 

For a low-coherence source such as an LED, the coherence length is on the order of micrometers, so matching the path lengths requires precise adjustment of both the target and reference arms. In a Mirau interferometer, the interferometric system is customized for a single microscope lens, so the path lengths are matched during the manufacturing process. Consequently, taking three-dimensional interferometric images is as simple as changing focus on the microscope stage (in the example shown here, focus is changed by moving the microscope objective). As the path length is changed, the interferometric pattern shifts. Measuring this change provides a calibration between brightness of the image and height of the target.

A Mirau interferometer works on the same basic principle as a Michelson interferometer. The difference between the two is in the physical location of the reference arm. The reference arm of a Mirau interferometer is located within a microscope objective assembly.

At the beam splitter the source light is split into a reference path (reflected) and a sampling path (transmitted onto the sample). On the comparison face there is a mirrored circle in the middle. The two paths recombine to form an interference image. By changing the z position of the sample, interference images are acquired at a sequence of path (phase) differences: 0, λ/4, λ/2, and 3λ/4. These interference maps are functions of background intensity, fringe modulation, and phase. Three such images provide enough information to solve for the topographic image of a sample.

This orientation is often used in optical profilometers due to the increase in stability between the sample and reference path lengths.

 

ћиро-интерферометр перемещаетс€ или с помощью пьезокерамики или с помощью шаговых двигателей. ¬ процессе движени€ рассто€ние от линзы до опорной поверхности остаетс€ фиксированным. ‘азовый сдвиг вноситс€ только в одно плечо интерферометра. “аким образом полосы можно интерпретировать как интерферометрию с фазовым сдвигом (phase-shifting interferometry) или вертикально сканирующую интерферометрию с выделеним пика когерентности (vertical scanning coherence peak sensing interferometry or white light scanning interferometry).

 

 



<== предыдуща€ лекци€ | следующа€ лекци€ ==>
‘изиологи€ труда. ѕринципы обеспечени€ безопасности жизнеде€тельности | “еоретико-методологические основы пон€ти€ Ђпринципыї культурно-просветительной работы
ѕоделитьс€ с друзь€ми:


ƒата добавлени€: 2015-05-07; ћы поможем в написании ваших работ!; просмотров: 565 | Ќарушение авторских прав


ѕоиск на сайте:

Ћучшие изречени€:

ѕобеда - это еще не все, все - это посто€нное желание побеждать. © ¬инс Ћомбарди
==> читать все изречени€...

2021 - | 1877 -


© 2015-2024 lektsii.org -  онтакты - ѕоследнее добавление

√ен: 0.013 с.