Оценить инструментальную погрешность интерферометра, вызванную остаточными аберрациями измерительной ветви.
Задача № 2
Исходные данные в табл. 2; иллюстрация на рис. 2
Для контроля формы АП оптической детали со световым диаметром D и толщиной d применяется интерферометр, схема которого дана на рис. 2. Контролируемая поверхность описывается уравнением вида: x 2 + y 2 + a 1 z + a 2 z 2 + a 3 z 3+ a 4 z 4 + a 5 z 5= 0.
Источник в интерферометре – He-Ne лазер, излучающий на длине волны l =0,6328 мкм. В качестве эталон-компенсатора используется плоско-выпуклая линза, выпуклая поверхность которой компенсирует аберрации нормалей контролируемой АП, а плоская поверхность выполняет функцию эталона. Показатель преломления стекла эталон-компенсатора дан в таблице 2.
Рассчитать параметры и характеристики измерительной ветви интерферометра в следующей последовательности:
1) для крайнего луча, идущего в сторону эталон-компенсатора, вычислить продольную аберрацию нормали Δs’n, а также угол j наклона нормали к оптической оси;
2) вычислить радиус кривизны rк компенсирующей поверхности и толщину d в воздушного промежутка между контролируемой АП и компенсирующей поверхностью эталон-компенсатора;
3) вычислить необходимый световой диаметр D к компенсирующей поверхности;
4) задать толщину эталон-компенсатора d к » D к /10;
5) вычислить остаточные аберрации компенсационной системы в автоколлимационном ходе лучей (для пяти лучей) и построить график зависимости остаточных волновых аберраций от тангенсов апертурных углов лучей, входящих в измерительную ветвь интерферометра.
Примечание: остаточные волновые аберрации вычислять с помощью компьютерной программы для расчета реальных лучей через оптическую систему.
Начертить схему оптической системы измерительной ветви (в масштабе) с ходом лучей и сводкой конструктивных параметров.
Сделать вывод о возможности реализации полученного результата.
Оценить инструментальную погрешность интерферометра, вызванную остаточными аберрациями измерительной ветви.
Задача № 3
Исходные данные в табл. 3; иллюстрация на рис. 3
Для контроля формы АП оптической детали со световым диаметром D и толщиной d применяется интерферометр, схема которого дана на рис. 3. Контролируемая поверхность описывается уравнением вида: x 2 + y 2 + a 1 z + a 2 z 2 = 0.
Источник в интерферометре – He-Ne лазер, излучающий на длине волны l =0,6328 мкм. В качестве эталон-компенсатора используется плоско-вогнутая линза, вогнутая поверхность которой компенсирует аберрации нормалей контролируемой АП, а плоская поверхность выполняет функцию эталона. Показатель преломления стекла эталон-компенсатора дан в таблице 3.
Рассчитать параметры и характеристики измерительной ветви интерферометра в следующей последовательности:
1) для крайнего луча, идущего в сторону эталон-компенсатора, вычислить продольную аберрацию нормали Δs’n, а также угол j наклона нормали к оптической оси;
2) вычислить радиус кривизны rк компенсирующей поверхности и толщину d в воздушного промежутка между контролируемой АП и компенсирующей поверхностью эталон-компенсатора;
3) вычислить необходимый световой диаметр D к компенсирующей поверхности;
4) задать толщину эталон-компенсатора d к » D к /10;
5) вычислить остаточные аберрации компенсационной системы в автоколлимационном ходе лучей (для пяти лучей) и построить график зависимости остаточных волновых аберраций от тангенсов апертурных углов лучей, входящих в измерительную ветвь интерферометра.
Примечание: остаточные волновые аберрации вычислять с помощью компьютерной программы для расчета реальных лучей через оптическую систему.
Начертить схему оптической системы измерительной ветви (в масштабе) с ходом лучей и сводкой конструктивных параметров.
