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(PVD) . , , . PVD ( 450), , . , (550). PVD ( 10-2 ). () () .

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(CVD) .

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. PVD, , CVD . 1100. , CVD. , . CVD 100 1000 . . , PVD. CVD. ( ) . , . PVD, CVD .

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CVD TiN, TiCN, TiC Al2O3. , , CVD, . , , , .

 

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