.
. : (, PVD) (, CVD) (. 4.20). . , .
.4.20. .
(PVD) . , , . PVD ( 450), , . , (550). PVD ( 10-2 ). () () .
. , . ( ) . , . , , . .
, , , , .
, , , , , IV-VI 300-800 , . TiN, TiCN, (TiAl)N, .
|
|
(CVD) .
. , . (, ), , . . .
. PVD, , CVD . 1100. , CVD. , . CVD 100 1000 . . , PVD. CVD. ( ) . , . PVD, CVD .
. , , CVD () .
CVD TiN, TiCN, TiC Al2O3. , , CVD, . , , , .
4.11 .
PVD | CVD | |
, | < 102 | > 102 |
, OC | < 500 | > 500 |
/ | ||
-
. , . CVD. .
|
|
.
PVD. ( , - ) CVD 40%.
:
;
;
, W, , ;
;
.
, , . , ; , (); , . .
, , , , , , . . ( 70%) . , , , .
4