.


:




:

































 

 

 

 





 

.1 (N2).

= 101,3 = 20 1,17 /3.

 

.1

 

.2 (Ar).

= 101,3 = 20 1,66 /3.

 

.2

 

.3 (2).

= 101,3 = 20 1,88 /3.

 

.3

 

.4 (SF6).

P = 101,3 = 20 6,474 /3.

 

.4

 

.5 23 (CF3H).

= 101,3 = 20 2,93 /3.

 

.5

 

 

80

, , , % (.)
- 25823 34,9
18300 35,7
2768 33,7
5789 30,9
6016 33,2
-25 38401-58-1090 32,6
646 18188 32,1

 

, , , % (.)
- 25823 34,6
  36,0
-76   33,8
  27,8

 

, , , % (.)
- 25823 39,0
  46,8
-76   44,3
  36,1

 

, , , % (.)
- 25823 10,0
18300 14,4
  10,8
  7,2

 

, , , % (.)
- 25823 14,6

 


 

5.13130.2009

 

.6 125 (C2F5H).

= 101,3 = 20 5,208 /3.

 

.6

 

 

.7 218 (C3F8).

= 101,3 = 20 7,85 /3.

 

.7

 

.8 227 (C3F7H).

= 101,3 = 20 7,28 /3.

 

.8

 

.9 318 (C4F8).

= 101,3 = 20 8,438 /3.

 

.9

 

 

.10 ( (N2)

52 % (.); (Ar) 40 % (.); (2) 8 % (.)).

= 101,3 = 20 1,42 /3.

 

.10

 

 

2 -

-.

.11 ,

.

 

81

, , , % (.)
- 25823 7,8
18300 7,8
  7,2
  7,2
  5,5

 

, , , % (.)
- 25823 7,2
  5,4
-76   6,7
647   6,1

 

, , , % (.)
- 25823 7,2
  6,0
-76   7,3
647   7,3

 

, , , % (.)
- 25823 36,5
18300 36,0
  28,3
2768 37,2

 

, , , % (.)
- 25823 9,8
18300 11,7
  9,5

 


 

5.13130.2009

 

.11

 

.12 .

 

.12

 

 

82

,
1 0,044 10
1 0,033 10 20
1 0,028 20 30
1 0,022 30 50
1 0,018 50 75
1 0,016 75 100
1 0,014 100 150
1 0,012 150 200
1 0,011 200 250
1 0,010 250 300
1 0,009 300 400
1 0,008 400 500
1 0,007 500 750
1 0,006 750 1000
1 0,005 1000 1500
1 0,0045 1500 2000
1 0,0040 2000 2500
1 0,0037 2500 3000
1 0,0033 3000 4000
1 0,0030 4000 5000
1 0,0025 5000 7500
1 0,0022 7500 10000
1 0,001 10 000 ( )

 

,
0 1000 1,000
1000 1500 0,885
1500 2000 0,830
2000 2500 0,785
2500 3000 0,735
3000 3500 0,690
3500 4000 0,650
4000 4500 0,610
4500 0,565

 


 

5.13130.2009

 

()

 





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: 2015-11-23; !; : 445 |


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