Чтение из библиотеки программ

Для ввода параметров из библиотеки программ необходимо войти в меню «Параметры», затем:

- выбрать нужную программу, для чего подвести курсор к строке с заданным именем программы и щелкнуть левой кнопкой мыши. Строка выбранной программы изменит цвет на синий;

- в столбце «Библиотека» высветятся технологические параметры выбранной программы;

- с помощью мыши нажать клавишу «Чтение из библиотеки», на экране появится окно (рис. 12);

- нажать клавишу «Да»;

- в столбце «Задание» появятся технологические параметры выбранной программы;

- нажать клавишу «Передача параметров»;

- нажать «Да» для подтверждения передачи параметров контроллеру;

- в столбце «Контроль» высветятся параметры, записанные в контроллер из выбранной программы библиотеки.

Рис. 12.

 

Запись в библиотеку программ

Для записи технологических параметров в библиотеку программ необходимо войти в меню «Параметры», затем:

- ввестивручную технологические параметры в столбец «Задание» согласно п.6.3.1 данного руководства, но не передавать их;

- выбрать имя программы, куда будут записаны новые параметры, для чего подвести курсор к строке с именем программы и щелкнуть левой кнопкой мыши. Строка выбранной программы изменит цвет на синий;

- спомощью мыши нажать клавишу «Запись в библиотеку»;

- на экране появится окно (см. рис. 13), в нем в строке «Новое» ввести новое имя программы (см. рис. 14);

- для записи нажать клавишу «Да», под данным именем в библиотеку программ запишется новое имя программы с введенными параметрами.

Рис. 13

 

 

Рис. 14

АВТОМАТИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ

Все автоматические режимы запускаются из меню «Мнемосхема» (см. рис. 1).

Рабочий цикл.

Перед запуском «Рабочего цикла» необходимо ввести и передать технологические параметры рабочего цикла вручную или из библиотеки параметров см. п. 6.3 данного руководства.

Если время процесса нагрева равно нулю, то нагрев пластины производиться не будет. Если мощность резистивного испарителя равна нулю или время процесса резистивного испарителя равно нулю, то данный процесс производиться не будет.

Для запуска режима «Рабочий цикл» необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Рабочий цикл» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима (см. рис. 15);

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

 

Рис. 15.

ВНИМАНИЕ! Если после нажатия клавиши запуска режима на экране появится окно с сообщением, что данный режим нельзя активизировать, значит, нет необходимых условий для запуска данного режима (эти условия также будут указаны в данном сообщении, например, «Нет охлаждения камеры») (см. рис. 16).

Рис. 16.

Для продолжения необходимо закрыть окно, нажав клавишу «Закрыть» в этом окне, создать все условия для запуска и повторить запуск режима.

После запуска режима название режима на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый, и в начале второй строки на коричневом поле появится название запущенного режима, в данном случае «Рабочий цикл». Заданные и текущие значения параметров рабочего цикла отображаются в технологической таблице на мнемосхеме установки, а в строке под технологической таблицей — название процесса. После завершения режима название режима в начале второй строки пропадет, а в конце строки появится сообщение «Рабочий цикл завершен», и название режима на клавише запуска изменит свой цвет с белого на зеленый.

После запуска режима включится клапан напуска и произойдет напуск в камеру до атмосферы. Заслонка и подложкодержатель переместятся в позицию переукладки. На экране монитора появится окно (см. рис. 17).

Рис. 17.

Оператор должен открыть дверь камеры, загрузить испаряемый материал (см. техническое описание), загрузить пластину, закрыть дверь камеры и с помощью мыши нажать клавишу «Да» в окне. Закроется клапан напуска, включится форвакуумный насос, заслонка переместится в позицию нагрева. После откачки камеры до 1000 Па запустится ТМН откачного поста, начнется высоковакуумная откачка камеры до уровня, указанного в строке 1 меню «Настройка», включатся разрешенные в настройке технологические блоки.

Подложкодержатель переместится на позицию нагрева, включится вращение пластины, включится выходная мощность нагревателя.

После достижения заданной температуры начнется счет времени процесса. По окончании времени нагрева отключится выходная мощность нагревателя, отключится вращение пластины.

Далее подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию резистивного испарителя, включится вращение пластины. На экране монитора появится окно (см. рис. 18).

Рис. 18.

Оператор должен проверить положение ручной заслонки резистивного испарителя. Заслонка закрыта, когда против метки на корпусе расположены две точки на ручке заслонки. Если заслонка закрыта, ввести «Да». Включится выходная мощность резистивного испарителя. На экране монитора появится окно (см. рис. 19).

Рис. 19.

Оператор через смотровое окно должен посмотреть на загруженный в резистивный испаритель материал и, если он расплавился, повернуть ручную заслонку так, чтобы напротив метки на корпусе располагалась одна точка на ручке заслонки, ввести «Да». Начнется счет времени процесса резистивного испарения. По окончании заданного времени отключится выходная мощность резистивного испарителя, заслонка

переместится на 180°, на экране появится окно (см. рис. 20).

Рис. 20.

Оператор должен закрыть ручную заслонку и ввести «Да», отключится вращение пластины.

Начнется процесс охлаждения. После задержки на охлаждение (время задается в строке 11 меню «Настройка») отключится высоковакуумный насос, подложкодержа-тель и заслонка переместятся на позицию переукладки, через 5 минут (время останова ТМН) отключится форвакуумный насос, включится клапан напуска. Отключатся блок питания нагрева и блок питания резистивного испарителя. Когда в камере будет атмосфера, появится окно (см. рис. 21).

Рис. 21.

Оператор должен открыть дверь камеры, выгрузить пластину и ввести «Да». Закроется клапан напуска, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Рабочий цикл завершится.

ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Рабочий цикл» необходимо нажать клавишу «Аварийное отключение», см. п. 6.4.2. данного руководства.

Аварийное отключение.

 

Данный режим используется для сброса режима «Рабочий цикл». Также он может запустится автоматически, если:

 

- во время рабочего цикла после выхода высоковакуумного насоса на режим в камере будет давление выше 500 Па, при этом появится диагностика «Авария: высокое давление на входе ВВ насоса»;

- во время рабочего цикла более чем на 5 секунд пропадет вода на работающей технологической позиции, при этом появится диагностика «Авария: нет охлаждения поз. нагрева» или «Авария: нет охлаждения поз. РИ»;

 

Для запуска данного режима оператором необходимо:

 

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Аварийное отключение» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После запуска данного режима в начале второй строки на коричневом поле появится название режима «Сброс РЦ», при этом сбросится активизация режима «Рабочий цикл», выключится выходная мощность работающего технологического устройства (нагревателя или резистивного испарителя), отключится откачной пост, включится клапан напуска, подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию переукладки. После напуска в камеру до атмосферы появится окно «Выгрузите пластину. Пластина выгружена? Да». Оператор должен выгрузить пластину и нажать клавишу «Да» в этом окне. Клапан напуска закроется, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Режим «Аварий-ное отключение» завершится.

После завершения режима его название в начале второй строки пропадет.

ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Аварийное отключение» необходимо нажать клавишу «Сброс» см. п. 6.4.3. данного руководства.

 

Сброс.

Данный режим используется для снятия активизации режимов «Аварийное отключение», «Выключение Откачного поста», «Выключение Нагрева», «Выключение Резистивного испарителя», а также для снятия всех диагностик, включая аварийные.

Для запуска данного режима необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Сброс» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После завершения режима в конце второй строки появится сообщение «Общий сброс завершен».

 

НАЛАДОЧНЫЕ РЕЖИМЫ

Все наладочные режимы запускаются из меню «Мнемосхема» страницы «Наладка». Для вывода на экран данного меню необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Наладка» верхней строки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Мнемосхема» во второй строке и щелкнуть левой кнопкой мыши;

-

на экране появится меню «Мнемосхема» страницы «Наладка» (см. рис. 22).

 

 

Рис. 22.