() . (P=10-10 ) 300 - 400o. , .. 500o . , . , . . .
, . . , , , .
() ( 600o ) ( ) . , . (), ( ) ( - ).
, . , . . , , .
( 2.2.1), , 1300o , . . , . , .
1400o 1600o . , , . - , . , . , , . , . . , , , , , .
|
|
2. - : 1 - ; 2 - ; 3 - ; 4 - .
, . . 1% , - . .
, . , . , .
, , . . - , , . , .
. , , . , , , , . , .
, .
, ( 2.2.2). , .
|
|
2.2 -
. , . *Smax (Smax - , ), . , . ( 2.3).
2.3 -
() ( RHEED ) ( 2.3.1). , , , .
2.3.1 - .
10 , 1 . , 3 : 1) , 2) , 3) , . .
2.3.2 - ,
. , , ( 2.3.2). . , , , . , , .
. , 4% Ge Si GexSi1-x Si (100).
, , , , .
, . . , . . , , , .
|
|
, , . -. , , . .
, . . 450o , .
, , . As , . , .
, , , 20o , 40o 600o . , . , . , , 50o 10 .
, -, - , . , , , , , , - , ..
, .
, , , .
|
|
GaAs. GaAs . .
GaAs . , . ( , ), , .
GaAs III-V . ( ) . ( ). , .
AIIIBV : (LED) .
GaAs, -n . , . AIIIBV, (GaAsP), . . , 650 -n . , , , (GaP). - . ( 2 18 ) , , , . , , - ( ). , , , .
Si-Ge, II-VI . Co-Pt Fe-Pt
() -, . , . , , , , - . , , 0.5 . - () -, 650 .
, , , - .
, , , , , . . - .
|
|
( , ) . , .
Ge
- ( - ), . 3,8 / 10 , , . . ~12000 AlN, . .
AlN - : , , . Si , , SiC .
() () -- CdxHg1-xTe (). ( , ). - (1-20 ). , () 3?12 , , , , , , , .
. - . CdZnTe, , ( CdTe CdZnTe Al2O3, GaAs Si). CdZnTe , , .
(?19 %) . , , , . , , .
- (180o), . , . GaAs Si , . .
AlN, GaN, InN , .
-. (HEMT- - ) AlGaN/GaN , -.
, , GaAlN. AlN : ; ; ; ; - .
InAs. - . , , - , 3,5
. InGaAs-GaAs (vertical cavity surface-emitting lasers - VCSEL) [26]. - " " .
VCSEL . . , , . , VCSEL , -, . , VCSEL . , . , , VCSEL , 1 /.
VCSEL (GaAs) 750 1000 . , - , VCSEL , LAN, , .
- . , - . . , . . . , . , () - ().
-, , . , , , , - , ..
, . , . . , , , .
- / . . . - .: "", 1989. - 584 .
: . . - .1: , / .. , .. , .. . - .: - . .. , 2007. - 49 .
* / .. , .. , .. . - .: . , 2009. - 223 .: . - ().
Scribd [ ]. - . - : http://www.scribd.com/doc/50634824/nanotechnology-brita
, , [ ]. - . - : http://works.tarefer.ru/89/100352/index.html
Connexions [ ]. - . - : http://cnx.org/content/m25712/latest/
. . / . .. . - .: . 2008 - 368 .
[ ]. - . - : http://dssp.petrsu.ru/~KOF/OLD/phys/spesh/vlsi/mlepit_a.html
[ ]. - . - : http://sibsauktf.ru/courses/surface/TECHNOLOGY/Techn_i.htm
Appropedia [ ]. - . - : http://www.appropedia.org/Molecular_beam_epitaxy
. [ ]. - . - : www.erudition.ru/referat/ref/id.17566_1.html
" [ ]. - . - : http://psj.nsu.ru/lector/aseev/partsix.html
TASC [ ]. - . - : http://www.tasc.infm.it/research/amd/file/school.pdf
[ ]. - . - : http://ufn.ru/ru/articles/2000/9/d/
AIIIBV [ ]. - . - : http://base.safework.ru/iloenc?print&nd=857200063&spack=110LogLength%3D0%26LogNumDoc%3D857200813%26listid%3D010000000100%26listpos%3D3%26lsz%3D7%26nd%3D857200813%26nh%3D1%26
- . , - . / .. , .. , .. , .. , .. , .. , .. , .. // . .. . - 2010. - 5(2).
InAs InAs/GaAs. / .. , .. . - . - 2003. - . 37, . 7.
InAs GaAs / .. , .. , .. , .. . - . - 2001. - . 39, . 1.
[- Ge/Si / .. , .. , .. , .. , .. . // . - 2004. - 30, 11.
| - [ ]. - . - : http://www.nanometer.ru/2010/01/18/molekularno_puchkovaa_epitaksia_oborudovanie_geterostruktura_162990.html
- -- "" / .. , .. , .. , .. , .. , .. // . - 2001. - . 35, . 9.
"" [ ]. - . - : http://www.vimi.ru/applphys/2002/4/f6-4.htm
=MOSKLINE=ELEKTRONINE=BIBLIOTEKA== [ ]. - . - : http://www.ebiblioteka.lt/resursai/Uzsienio%20leidiniai/ioffe/pztf/2005/20/pztf_t31v20_04.pdf
Nitronex Corporation Home [ ]. - . - : http://www.nitronex.com/ganessentials.html
Wikipedia [ ]. - . - : http://en.wikipedia.org/wiki/Aluminium_nitride
SpringerLink [ ]. - . - : http://www.springerlink.com/content/l234632v0240r203/fulltext.pdf
[ ]. - . - : http://www.mobilum.ru/articles/vcsel/
Edu [ ]. - . - : http://edu.ioffe.ru/PTN/rus/PTNS/Prep/Dubrovsk/Posobie.pdf