1. , . .
, . , , . . λ, , , - , , . , , (n ). , - :
. ω , q , - (. 2). , , ,
. 2. . .
. :
S , . :
, a . ., 25 , . , . /, . . . , , . ω , , - . .
2. - , . . . . , , . , .
. - (, , ). - . . , . . , . , , . . (., ) . - -, . . . . , . . . , . . - , . - . , - . , 3 (. 1 ) 4 (. 1 ). . ., . , . W , . , . =W/g g . . . , - . . , . ., . , - . W, . . . . . . H, . 0 . W , W . . . . ., , , , DH/H?10-9. . . . ., , 310-9.
|
|
. . , (., , ). , . . , . . - g g, , , . . . . . . . : , , -.
. . 0 . W, wL L j, ω.
3.
, . . . , , . , . , , .
, MEMS-, . , , . , . , . , , , , , .
|
|