Безопасность труда при сборке и герметизации полупроводниковых приборов.

При пайке и сварке п.п. приборов последовательно проводят обезжиривание, травление и промывку исходных деталей и частей приборов. Опасность при проведении процессов обезжиривания и травления могут представлять растворители и кислоты; обращаться с ними следует осторожно, используя вытяжной шкаф с работающей вентиляцией, резиновые перчатки и фартук.

Пайка сопровождается загрязнением воздушной среды на рабочих местах и в рабочих помещениях. А также открытых поверхностей рук и лица. При пайсе выделяются пары, в которых содержатся частицы свинца. ПДК<0,01мг/м³.

Частицы свинца могут вызывать патологические изменения, которые при большом стаже работы переходят в хронические заболевания. Места пай Ки должны быть оборудованы специальной приточно-вытяжной вентиляцией, скафандрами, индивидуальными отсосами и защитными приспособлениями.

Источники питьевой воды следует располагать вне паяльных участков, но вблизи от них. После окончания каждой рабочей смены необходимо мыть полы. Сухие способы уборки не разрешаются. Общую влажную уборку рабочего помещения (стен, потолков, оборудования, коммуникаций) следует проводить не реже 1раза в 2 недели.

Бытовые помещения необходимо оборудовать умывальниками, местами для курения, комнатами для приема пищи. Помещения должны быть снабжены бесперебойной подачей холодной и горячей воды, а также салфетками для обтирания рук. Рабочие столы для пайки должны позволять легко проводить их тщательную очистку. Внутреннюю поверхность скафандров следует окрашивать масляной краской.

В процессе электроконтактной сварки опасность могут вызвать неисправное электрооборудование, нагретые части, свариваемых деталей, искры и выплески расплавленного металла. Корпус следует заземлять прочными болтами и шинами. Необходимо заземлять зажим вторичной обмотки трансформатора, к которому присоединен провод, идущий к свариваемому изделию. Все электрооборудование для сварки должно быть помещено в металлические шкафы или кожуха с дверками, снабженными блокировочными устройствами. Блокировочные устройства должны автоматически отключать первичное напряжение от объекта при открывании дверцы. Рядом со сварочным оборудованием должен находиться распределительный щиток со всеми защитными устройствами, автоматическим выключателем и измерительными приборами.

Детали следует размещать и вынимать из сварочных электродов только пинцетом или специальными щипцами. Работу необходимо проводить в хлопчатобумажных перчатках, категорически запрещается брать детали голыми руками.

Для защиты лица от искр и выплесков расплавленного металла следует использовать предохранительные щитки и экраны из прозрачного оргстекла. Экраны должны быть оборудованы светофильтрами для защиты глаз.

При герметизации п.п. приборов пластмассой в рабочие помещения могут выделяться вредные пары и газы от гидравлических прессов и машин для литья пластмасс. Части машин и механизмов должны быть герметичны и не допускается вытекание жидкого материала из емкостей, выделение газов при нагреве пластмассовых материалов.

К работе на прессе, термопластмассе и литьевой машине допускают рабочих, прошедших необходимый срок обучения, хорошо освоивших инструктаж, изучивших машину, безопасные приемы работы. Герметизировать приборы пластмассой необходимо в специальных рукавицах или перчатках и плотно прилегающей к телу спецодежде с хорошо подвязанными у кистей рукавами.

Вредное влияние на организм рабочего оказывают пыль прессматериалов, газы при расплавлении пластмасс, химические вещества при обработке пластмасс. Необходимо наличие вытяжной вентиляции. Для предотвращения внезапного опускания ползуна применяют автоматические защелки и подставки, прикрепленные к станине на шарнирах, которые вводят под ползун вручную после его подъема.

Следует механизировать и автоматизировать загрузку и выгрузку пресс-форм.

При пластмассовой герметизации методом литья под давлением необходимо применять защитные и предохранительные устройства, предотвращающие ожог расплавленным материалом, устраняющей обратный выброс материала при образовании пробки у выхода отверстия через бункер и дозатор.

При защите р-п-переходов используют методы лакирования, силанирования, нанесение пленок нитрида кремния.

Метод лакирования предусматривает нанесение на поверхность кристалла тонких слоев специальных лаков, эмалей и компаундов, в основе которых лежат смолы. Эти покрытия предотвращают доступ водяных паров, кислорода и иных веществ. При работе с лаками и компаундами необходимо соблюдать меры предосторожности, т.к. они обладают токсичным действием на кожу, органы дыхания и нервную систему.

В скафандры лаки, эмали, компаунды следует подавать в закрытых емкостях через специальные шлюзы. Должны быть резиновые рукавицы и местная вытяжная вентиляция.

Метод силанирования основан на образовании полимерной пленки на увлажненной поверхности кристаллов.

Для получения защитных пленок применяется тетраэтоксисилан – прозрачная жидкость с токсичными свойствами. Они вызывают раздражение глаз, слезотечение и затрудняет дыхание.

Наносить силановые пленки следует в специальных установках.

Метод гидрофобизации основан на образовании водоотталкивающей пленки на поверхности кристалла. Обработку кристалла проводят соединениями бора в шкафах с местной вытяжной вентиляцией, используя гидрофобизирующие жидкости.

Метод осаждения пленок нитрида кремния основан на химическом взаимодействии силана и аммиака. Опасность связана с химическими веществами (силан, аммиак, гидрозин, тетрахлорид), а также с электрооборудованием, применяемым для нагревателей и высокими температурами процесса осаждения пленок.

Все химические процессы проводят в герметизированных системах с контролируемым расходом реагентов.

Для достижения электробезопасности необходимо изолировать все токоведущие шины и провода, заземляют корпус установки и создают блокировку во всех местах доступа к монтажу электросистемы. Возможность ожогов при соприкосновении с горячими частями установки (кварцевая труба, участки печи, нагреватели) устраняют защитными экранами и кожухами. Все горячие детали необходимо вынимать только с помощью специальных приспособлений (щипцов, захватов), использовать хлопчатобумажные перчатки.

Задание на дом: Курносов «БТ в ППП» § 20, 21, 22.