- . , - [1] . - ,
, , [2], , , ( ), [3].
- , , .
, , e . , .
. . , , , .
, .
- : ,
.
, , - . , , , . - , , ; , , .
. , - . , , , , , ? .
|
|
15-20 , CMOS- . , . , (, , ).
(MEMS, MST, ) , , .
, , , , .. , , . MEMS () (). : MEMS-, .
, , , . , (TiN) , .
MEMS . :
: , ;
: CMOS- . , .
, . MEMS 3 .
-, . MEMS-: , ( ), , , , , , .. , , (, ),, , .
MEMS-, .
|
|
GPS- , , .
10- , , , , .
- . , , , .
MEMS energy scavenging chips , . energy harvesting ( ). MEMS- , , .
, , Texas Instruments. Perpetuum 2013 (VEH, Vibration Energy Harvester) , . VEH : (, ). , , .
, . , . , , , . - . .
, , , , . , , , (Memjet), , .
.
, , . -: MEMS- . , , /, , , . , .
PicoP Microvision Inc.: , , .
|
|
, . MEMS , .
, .
( , , - .). MEMS , , .
MEMS- (1-125 ) 2006 SiTime 2×2,5×0,85 . SiT15xx (1-32 , 2013 ) 85% , 15 50% , . , - SiT1052 SiTime . , MEMS- , . , CMOS-, MEMS- , .
MEMS- , .
-. ( MEMS ), , , . , , .
MEMS- ST Microelectronics, Bosch Texas Instruments.
()- ()- (), , , .