:
, . , , - 220330 . 500 . , .
- , , , . - 1150 . , .
, . . . - .
- . , 1150 . - . +50 . . - , .
, . , , , .
8-2.
. 35 , .
|
|
. 8-1 , . , , .
; 42 . 3 43 . 43 , 44. 39 43 5, 4, . 5 6, 7, 27, 29. 7 8 12. 6 12 , , . 12 21. , 12 22 23. 21, . . 13, , , 15 .
12 22 , 23 . 23 12 ' . 12 11 13, , . 10 14,
. 8-1.
. 12 . // .
6 27 30 , 31 32. 27 26. 26 34 30. 36 35 28 . 36 - 25 37. 11 - , 38 24, . 11. 37 16 17 19 , 18 .20, . 13. , . - .
|
|
. 43 48 2 41 40 , , 42, 3. 3, 43 , 39. , 3 . 2 48 50 1, . 49 . 12 23. . , . , , .
42 , 43 , 12 23 , ; // 19 .
, 47. 3 46. , 46, , 45 .
29 6, 27 39, 5 . 26 33 34 30. 9 26 35 36. , 36 25 37. 25 10, 37 16 17 19 . , .
6 7 8 12 22 .
43 2 - /. , . 12 22, . , .
|
|
, , 30 . 12 22 .
330 500 , 750 . , 220 (. . 8-1). , 330 750 .
330500 , (. . /, 2, 3947), , ; 39 5, 4 .
750 , (. . 1, 2, 3947), , ; 39 5 , .
.
3.
, , (-) .
, . .
. 8-2.
.
. 8-2 , 110 . , , . 9 8, .
, 25. , 30, 25 Os . 30 , 0\. 31 ; 0'2, 02, , 22 28, 21, . 21 . '3, 03, , , , 20 , 4, 5. 7, 9, , 9 10 . 8 . 5 3.
|
|
28 29, . 29 27, . . 25 . .
, 9 10 13 14 12. , , 17 . 16 , 16 .
. 16, . , . . , 11, . 14 13. 12 . . 15 13 14 11. , 15 . 14 //.
, 24. 1, , 24 23 26, 30. 30 , 1 30 . , 31 . 31 / 22 21, 28 29 . 21 , / 3. 3 5 , 04. 3 6 . 6 7, 9. 6, , 0$, , 9, 10.
3 9. 3 5 , 04, . 9 - , 8.
|
|
, 19, 3 . 6, 11 . 9 8. 7 .
31 / 28 29, . 27. . , 24 . 23 24. 26 .
12, . , , .
, 5 04, . 16, . / " , 14. , 13, , . 13 14 0,035 . 18. 14 , 06.
, , 22 . 21, .
1 11 2.
8-4. -
- , , . , , , , .
. 8-3 - , - . , , 22, . 4 5 5 28. 5 5 , .
. 8-3 . , . . . , 6 6. . 9 (. . 9-4). 220 330 .
. 8-3. -
500 , 750 . , . 8-3, . . , .
, , .
. 8-3 , , .
. 37. 4 37 36 41. 41 .
41 6 34 , 39 43. 6 34 . 6 , 34 33 6. ( ). . . (33 ). 34.
41 6 6 39 43. (34 ) . 33 , , . .
32 33. , 6, 33 . 6. 33 .
33 , 34 , 33 12 .
34 14 , 14 16, 19, 10 7 31 . 14 16 15, 16. 19 . 16 14 , 16 14.
10 8, 9. 10 , // .
19 , , 22, . 19 20 21. 21 23, .
20 .
41 39 38. 39 . , 41 . 39 43, /. 1 3 44. , 2 , 42 . 2 , , .
41 , 4/ 35 37. 37 , , . 37 41 36 OQ . 40.
. 38 . 38 39, 41, 6, 34 33 , , . , 34, . 41, 39 43.
34 , , . 34 12 , 33 . 33 , , 28 5, . 33 34. , 32 , 33 . 33 34.
, 5 5, 33, 34, 7 31, 14 /9. 14 16 , . 14 16 , 16 02.
14 13. 13 14. 13 , 17 . , 13 . , , , 14 16. , 18. . 15 , 14 50 .
14 18 . , 14 18, 19, 20 21. 21 23. , , , 23 22 3.
14 19 21. 14 16 , 0%, 14 . 19 21 , . , 20, . 8-3.
14 30 14. 18 . 18 22. 30 , , , . , , 23 15 . . .
14 7 10 ( 10 11 ) , 12 29 24 ( . 8-3 , 12, ). 24 25, 45 46 48, . 50 49 04 . 50 , 04, . 26. 23, 27 04. 27 : 27, 50 ( 1 ).
50 50 . .
24 10 9. 10 // . 7 12 29 24 [. , 24, 25 45 24 , 46. 47 48 . 50 , , 22 27 04 . , .
34, , 6 41. 43. I, . 44 , 3 . 4 3 2 . , .
. 8-4 -- , -20 20 , 20 000 . 2 . .
. 5-4. -
14, 12. 4 11 /. 12 13, , 15. 9 42 41, 23 34 36. 44 46, . 34 42 21 30 22, 25 29.
18, 19, 10 . 19 , 16. 24 34, , 46. 37 28 26, 27. 37 27 20 . 7 6, , , 5. , , . 3 1 2 32 45 54 ( 62 60 59, 62 63). 32 45 0. 31 50. 49 56 57 58. , , 56, 61 . 62 63 , 47 48, 55 ( 47 ).
53 52 51 42. 44. . 26 27, 20 . 6 8 5 . , 3 32 45. . 39 40 22, 25, 29 38 , .
33, 35 43 36 41.
8-5.
-
- , , , , . - , - - . .
- . . [6].
8-6. -
, , , . . . . , , .
. 8-5 - 1150 (. . 9-5). .
. 8-5. -
8, 9, - . 3, 2 4. 6. 8 6 7. //. .
9 , , 10 . .
4 5, 2 . .
12, . 8-2. 13, . 14, / , 2. , , , , , . , , , 2 45, , . , , .
- , ( ) , . - , , .
- , , [36].
, , (/), (), () ( ).
/ , 500 400 . , , , 500 1000 . . - . , , . .
, , . , .
, . , . , , , , . 220 24 .
, . , .
() . . . - 3.
. . 14, .
, , , () (), () ( ).
, . . . 710 , . , .
, . ( ). , , , .
14 13.
. -, , , , , / 14. - , , . -- .
, .
- :
1) 0,088 0,002 ;
2) 0,022 0,002 .
- 60 50 .
. . - .
, , , . , . , , . 2 70 % , , .
, . . . , . , . , . () . , 0,1- 0,05.- .
. .
:
1.
2. .
4 , . 1 - 2. 3. . 3. 41. 2 4. 5 6, 2 (2 ). p2/p1 4. . .
, . . .
1-; 2- - ; 3- ; 4- ;5- ; 6-2
.
, , . , . SF6. , .
.
.. , , 5 , , . , , (, 1 3 1 ) 3,7 , . , . 1,9 , . 1525 % .
. . 3.50 . , , 0 1,25 ( 0,105 /3). 40 0,4 ( 0,03 /3). , , 40, , 0,4 ( 0,03 /3). .
, 800 . 800 . , . -- 123 , , . , , .
( 800 ) 75 ( ) 90 . . , . , .
, 100 . ( 10 ).
2.2.2.
. , .
SF6 500 C . SF6 . , . SF6 . .
SF6 , . , 80 % SF6 20 % , , 376.
15000 K , SF6 . :
, , , , ; SF6, , CF4 ; , , ;
, .
, ( ) , , , , , ..
, , , -, :
HF;
CO2;
SO2;
CF4;
SiF4;
SOF2;
SO2F2;
S2F10;
SF4.
, , .
(S2F10).
( ) , - (- , ) , .
, , , .
2.5 , (.2.5, a) (. 2.5, ) , .
. 2.5. ,
2.2 . .
SF6 . , , , SF6 80 20 % .
, SF6, .
2.2. SF6
, , 6000 /3. (TLV) , .
SF6 - , . SF6 , , .
, SF6 , 376.
, SF6, :
SF6 ;
SF6 ;
, , SF6.
, TLV, . TLV , 8 40 .
, SF6 , , . SOF2.
( ) .
TLV SOF2 9,6 /3. SOF2 , SO2 HF. SOF2 TLV.
SOF2 SO2F2 SF6, .
2.3.
.
. . , , . .