Для создания среднего и высокого вакуума применим магниторазрядный насос типа НМД-1 с предельным давлением рпр=7·10-8 Па и быстротой действия 1,2 м3/с.
Эффективную быстроту откачки в. откачиваемом объекте определим по формуле
Sэф1= Q/p=5·10-3/2·10-3=2,5 (м3/с)
Определим коэффициент использования высоковакуумного насоса. Пользуясь графиком на рисунке 3.1 [1] при n=3 находим для Sэф=2,5 м3/с оптимальное значение коэффициента использования Ки1=0,19.
Рисунок 3.1 – Оптимальные коэффициенты использования вакуумных насосов в зависимости от эффективной быстроты действия Sэф и числа элементов между насосом и откачиваемым объектов n.
Определим номинальную быстроту действия:
Выбираем магниторазрядный насос НМД-1 сдвумя блоками питания, имеет следующие характеристики:
| Номинальная быстрота действия, м3/с | 1,2 |
| Диаметр входного патрубка, мм | |
| Наибольшее рабочее давление, Па | 2·10-1 |
| Наибольшее давление запуска, Па | 7·10-8 |
| Предельное давление, Па |
Для создания разряжения для магниторазрядного насоса используем геттерно-ионный насос с предельным давлением рпр2=7·10-8 Па и быстротой действия от 0,8 до 10 м3/с. имеющий следующие характеристики
Рабочее давление геттерно-ионный насоса выбираем по максимальному выпускному давлению паромасляного насоса с коэффициентом запаса φ=2. Тогда
р2=рвып.1/φ=2·10-1/2=0.1 (Па)
Эффективную быстроту откачки
Sэф2=Q/p2
Sэф2=5·10-3/0.1=5·10-2 (м3/с)
Определим коэффициент использования геттерно-ионного насоса. Пользуясь графиком на рисунке 3.2 при n=4 находим для Sэф=5·10-2 м3/с оптимальное значение коэффициента использования Ки2=0,19.
Рисунок 3.2 Оптимальные коэффициенты использования высоковакуумных насосов в зависимости от эффективной быстроты действия Sэф и числа элементов между насосом и откачиваемым объектов n.
Определим номинальную быстроту действия
Выбираем сорбционный насос – ЭГИН-0.8/0.1 имеет следующие характеристики:
| Номинальная быстрота действия, м3/с | 0.8 |
| Диаметр входного патрубка, мм | |
| Диаметр выходного патрубка, мм | |
| Наибольшее выпускное давление, Па | 3 |
| Предельное давление, Па | 4·10-7 |
Рабочее давление спирального насоса выбираем по максимальному выпускному давлению геттеро-ионного насоса с коэффициентом запаса 2. Тогда р3=рвып.2/φ=3·100/2=1.5 (Па), что соответствует эффективной быстроте откачке
Sэф3=5·10-3/2·10--7=2.5·104 (м3/с)
Определим коэффициент использования низковакуумного насоса. Пользуясь графиком на рисунке 3.3 при n=4 находим для Sэф=2.5·104 м3/с оптимальное значение коэффициента использования Ки2=0,98.
Определим номинальную быстроту действия
Рисунок 3.2 – Рекомендуемые коэффициенты использования Ки вращательных насосов в низковакуумных системах в зависимости от эффективной быстроты действия Sэф и числа элементов на участке от насоса до откачиваемого объекта n
Выбираем спиральный насос – ISP-1000 имеет следующие характеристики:
| Номинальная быстрота действия, м3/с | |
| Диаметр входного патрубка, мм | |
| Диаметр выходного патрубка, мм | |
| Наибольшее выпускное давление, Па | 3 |
| Предельное давление, Па | 1 |
