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SF6, , 2 3- :

60376 [1.16] ( ) , .

60694 [1.17] ( ) , .

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2: 60376 60694 , 60480. (% vol ppmv), , .

 

60376 1 . 1971 . () 60480 () 60694 . 2.1 2001 . ()  
CF4, C2F6     0,05 % 0,05 %     3 % vol total    
WF6, SOF4 SOF2, SO2, SO2F2 SF4, HF   1 ppmw total   50 ppmv total 1)  
15 ppmw 750 ppmv p < 200 2) 200 ppmv p > 200 2) < - 5, 2000 ppmv 200 530 ppmv 750
( )   10 /3  

1) , , 12 ppmv S02 + SOF2, . 2, 2.

2) p < 750 k, , ( , ), p < 200 k , ( ).

 

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