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45. . .
: SiH4() → Si() + 2H2();
: WF6() + 3H2() → W() + 6HF();
: SiH4() + 4N20() → Si02() + 4N2() + 2H20;
: l2l6()+02()+2()→l203()+6l()+();
: 3SiH2CI2()+4NH3()→ Si3N4() + 6H2() + 6HCI();
: TiCI4() + CH4() → iC () + 4HCI();
: 2GeI2() → Ge() + GeI4();
: (CH3)3Ga() +AsH3() →GaAs()+3CH4();
:
6GaAs()+6HCl→As4()+As2()+6GaCl() + 3H2().
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1 . . -2371, ( 24 , 4,5 , , .
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7. 1150º 125/3-15. , 7 8 ( 5.2.), . .
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( PCl3, PClO; PH3). PCl3. 125/3-15.
- PCl3 +N2 (. 5.3), . 5.4.
. 5.4. |
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