- .
. :
1. .
2. .
, , , . .
, , .
(, CHF3, CClF3) (CF4-H2) , , . , , , - . , . ,
ؖ, :
- ;
- .
:
- ( 20 /);
- ;
- .
38. , Si3N4, SiO2.
. n p ,
SiO2 Si3N4, .
: F2, CF4, C2F6, C3F8, SF6, SiF4, NF3, ClF3, , . , SiF2 SiF4.
, 2.
SiO2
: C3F8, CHF3, O2, He. C3F8 , CFX, : C3F8 + e → 2CFX + 2F + e. CFX ( CF3+) SiO2 , SiF4, CO, CO2, COF2:
CFX + SiO2 → SiF4 + (CO, CO2 COF2).
, COF2, CO CO2.
CHF3 CF3+, , :CHF3 → CF3+ + H,
|
|
H + F → HF. CHF3 SiO2 CF3+ - . SiO2 Si 10:1.
, , .
Si3N4
: SF6, He.
, . Si3N4, SiO2, Si3N4 SiO2. .