() - . . , - , , - , . , .
- , 200 .
, - , .
, - : , , , () , , ( ). . - ( ): . ( , ), , . , / , (, ). , , -. , - . , , , . / .
, - , , . , p-n -, .
- , . , , , . . 3.44 512 , 0,25 [13]. , - , . , - p-n-p-n- .
|
|
. 3.44. 512 , [13]
- , , , , , - , , . , , - .
, , (, ) , .. . ( , ) , . . , , n - , ( ). , - , ( ). , - (), , , , , . , , , ( ). , - . - , , snapback [13]. , .
- : , . - /- , - (. . 3.3), . - LOCOS STI. . 3.4.5. . , . , (). , () , . , , - ( ) , - (. . 3.43). [13]. , , .
|
|
, - , - -. - - . , ( ), , . 3.45. . . 3.45 , . , , . . , , , - .
. 3.45.
- . . 3.45. , . . , . , - , . , , .
|
|
. - : (SIMOX) . SIMOX- (, 1350 ). - . -. ( 1100 ). , - ( SIMOX, ) , . - . , , SIMOX- ( ), , . , 100 % . . 3.46 [13] : SIMOX (Unibond). , SIMOX Unibond ( SOITEC), - 60 50 (SiO2)/ (VGS = VS = VDS = 0 ) (OFF) (VGS = VS = 0 ; VDS = 5 ). , Unibond, (OFF) SIMOX-. [13]. [13]. < 1 . , .
. 3.46. -, SIMOX Unibond [13]
- . : - - .
- [13]. . , , . - SIMOX-. , , , , , . - , [13]. . , , [13].
|
|
, , . . . - [13].
, - , , , (BUSFET body-under-source field effect transistor). BUSFET - , -, . , -, . BUSFET . 3.47 [13].
BUSFET , +- . - , . , . , , , , . BUSFET - , - , , .
. 3.47. BUSFET ( , , )
. , n - [13]. , , n - - . - gate-all-arround [13], ( , ) .
- , . , SIMOX-. SIMOX- . , , [13]. , SIMOX- , Eg-, , . , , Eg- . , Eg- - . -, Eg-, . Eg- . , [13]. , - .