, , - . (~10 (Si) ) , , . , - .
, . 100 1000 . , , , , . , , , . [66, 67]. , , SiO2 ( 100 ), 4 [66], , 77 . , . , , . , [66, 67].
(LOCOS) (STI shallow-trench isolation). LOCOS . LOCOS STI. . 3.41 [13] n - LOCOS STI. LOCOS STI-. - , , -, , n -. , . . 3.42 STI- [13]. . n - n - - . . , n - .
|
|
. 3.41. LOCOS () STI () [13]
. 3.42. ( ),
STI- [13] ( LOCOS )
, . , , . 3.41. , , . . 3.43 [68] . - - n - ( ) , , . - ( ) , - . ( . 3.43), (OFF) ,
- . , , , . .
. 3.43. , -,
. LOCOS- STI
- , -. STI , n +- [68].