, ' . :
- ;
- , ,
. , , ;
- ' . , ' ;
- ', ' (. ');
- , 㳿 .
, , i. ֳ i3 㳺. : e, tg d, .
²² в
: , , , , , , , , , ... , , , .
Ͳ , .
(Si) IV .., , . α = 0,542 . ʳ ᒺ 51028 1 3. Δ W 20 1,12 , ( 125). 31016 -3, 2,3103 . ( < 6,7 K) (12 ) , ρ . μ μ = 0,1452/ μ = 0,0452/.
, 1,2 .
, , , . 2320 /3, 1414. , , .
Ͳ ǒ Ͳ.
SiO2 900. SiO2 . SiO2 , . -, Si . -, , Si . -, . SiO2 Si, , , .
|
|
Ͳ Ͳ Si3N4 , . 1012 , . Si3N4 SiO2 .
: ϖ1...ϖ7, 1...5%; . г , 1019 .
, , . . , , , .
. ( ) , .
, [111] [100]. ϳ , , . , , . 150 0,510-5 0,5 .
. . , .
IV (, , ), .
(, , , ).
V (, , , ). , , VI, VII , . . , . n , p- . , , .
в Dz
( ) .
|
|
糿 - , .
糿 Գ. Գ 糿 D 2/, .
Գ ᒺ . , 糿 , . , , . , 1022 /3, 21021 /3, 1021 /3.
Δ W , . Δ W 3,4...3,9 .
糿 , , . 糿 , .
, , , . . , . 糿 (, , , ) 1000...1300.
: P2O5, P3N5 . Sb2O3.
г , - 糿. , , , , .
Ͳ. ճ , GeO2.
700 GeO2 . .
IV ..뺺, α=0,566, ᒺ 4,451028 -3. 20 Δ W = 0,75, 80. 2,5·1019-3. 0,68 ·. 20 μ n = 0,392/, .
. ( 5,4) . - 1,8 . , : 5360 /3, 937. 600, GeO2. , , . , , , 䳺 . .
|
|
璺 , GeO2, GeCl4 GeI4.
- , 0,565 0,543 . : , . .
ײ
V .. .
ײ
. , , , 1026 1027 /3. 2175 ( , ).
˲ (29,8) . , . . 7·1026 /3.
糿 Ga2O3.
IJ (99,999%). ³ (155), , . . ³ : 1025 /3. n . V .
ײ V
: . , , .
. ³ ( 1028 /3, 2·1026 /3). SiP GeP. P2O5 , , ().
ؒ , , , , . , 2·1027 /3 2·1026 /3. 糿 As2O3 AsCl3. , p - n - , . GaAs.
, . 630, , Sb2O3.
, ( 1025 /3 4·1025 /3. 糿, , : Sb2O3, SbCl3. , 糺 . .
|
|
. 㳺 Cu2O, ZnO .
, m B n, m + n = 8, , AIVBIV, AIIIBV, AIIBVI. , Ge Si, . , VI : , , .
, , .
ϲ²² AIVBIV
SiC, 70% Si 30% C. . , . , 2000, β. ϳ SiC, ( 40 300 ). ³ . , , 2,7 3,3 .
Δ W 400...500. SiC , 1400. : μ n = 0,12/ μ p = 0,022/. (, , ) , (, , ) (, , ) . , Si , C.
SiC . 糿 , SiC .
SiC , : , , , . , , .
: . . 1.13, .
г . 1.13, . , U 1 R, U 1, U 2, U 3, U 4 . , - (. 1.13, ) .
, . (. 1.14) (1) (2).
, 䳺 . ( ) . , 䳺 , , , . .
ϲ²² AIIIBV
AIIIBV (, , ) V (, , ). : (GaAs); (GaP). , (AlSb, AlAs).
|
|
Ͳ Ҳ AIIIBV
AIIIBV BV AIII.
, BV AIII, , . -.
AIIIBV . 1.1.
.
AIIIBV , . 10,18 2,42 , . (GaAs I GaP), , 300. 璺 ( μ n = 7,8 2/) . - : , , , , .
̲ AIIIBV
, AIIIBV . , . Zn I Cd, VI Se I Te. , AIII, BV, , . , IV . (GaP) 1024 -3 , .
AIIIBV
Ͳ ˲ (GaAs) , . GaAs 51021 -1. VI , W = 0,003 ; II Zn, W = 0,024 . Zn i Te 1026 41024 /3. , GaAs (ρ = 102...107 *). 0,83...0,92 . , - 100 .
Բ ˲ (GaP) Δ W = 2,25 . GaP . GaP . 㳺 W = 0,063 . 㳺 W = 0,09 .
GaP . ֳ GaP . г GaP.
Ͳ IJ (InSb) , InSb .
(Δ W = 0,18 ) InSb , . InSb , 10 2/. InSb 1020...1024 -3. InSb , , .