-
____________________ / .84 .. /
____________________ / ..-., .. /
2014 .
. 4
1. . 5
2. - . 8
3. - . 9
. 16
. 17
, , . , . , , , , , , .
, . - (ion beam assisted deposition - IBAD), . , (diamond like carbon - DLC) (c-BN).
IBAD , . , IBAD , , - - , . IBAD , .
|
|
- . . -2.
:
- 610-2 ;
- 7 ;
- 200 ;
- 5000 ;
.1.1 -2
- , .
, , , , , , , , 250-1100.
17 280 ˚, 40 75% 8,4 104 10,6104 (630-800 .).
:
- ( );
- -60;
- -751;
- .
- . , . , , . , , .
, , - ( Ar O2).
. 1.2 - -
- :
1. ;
2. ;
3. .
, , , , Zn, Zn Vn, ZnO, Vn2O3.
1. , ( , , , .).
M1 - , , , , , , , , .
|
|