5.2.1
.
. , . : () , .
5.2.1.1
.
1) () . . . : , .
(SiCl4 + H2) (. 5.1), (1) (2). 1000 0 . : SiCl4 + 2H2 ↔ Si + 4HCl , . . (PH3) , (B2 H3) .
. . 5.2: 1, 2, 3, 4
5
6
7
8
9
10
11
. 1 (Ge Si, GaAs GaP)
- . . 5.3 AlxGa1xAs. , . , , , . . , . - .
|
|
2) . , 900-1200 .
. 5.4: 1
2
3
4
. , SiO2. , 12 .
5.2.2 .
.
1 . ( 500 ). 100 , 10 .. . . . . 5.5
1
2
3 SiO2 ( )
4
5
6
:
)
)
)
)
)
(2), (1) , (5). (6). . (2) . . , .