, . SiO2 . :
, ;
;
.
Al2O3 SiO2, B2O3 SiO2, Al2O3 B2O3 . SixOyN, SiH4+NH3+O2 900-1000. Al2O3SiO2 860-1100C. , 250-500 .
() SiO2P2O5, . :
1. : SiH4+PH3+O2 P2O5 + H2O.
2. : POCl3 + O2 + SiO2 SiO2.P2O5 + Cl2 : POCl3 + SiH4 + CO2 SiO2.P2O5 + Cl2.
- . SiO2.P2O5 , 0,4 /. , , 2 . , ~0,02 . , 25 , 3-6%.
. . SiO2 P2O5, 4, , , . , . P2O5 :
. 10.1.
25
N
12,5 25, 4%, NNa+~1012 /2 10 , 80.
, , . 1,5 , SiO2, , , P2O5 SiO2. , , SiO2 SiN4.
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