, , [9]. , . (SiCl4):
(3.5)
, , . , n- , : PCl 3, PBr 3, PH 3 . p- , , BBr 3, B 2 H 2 .
, ( , , , .) ( ). , [1]. : , , . , ( ) . , () . , - -- , . 1968 . [6].
, GaAs, :
. (3.6)
(CH 3)3 Ga () AsH 3 700 0 2.
A III B V, A II B VI A IV B VI, A III B V. , Al x Ga 1-x As , :
(3.7)
(3.6) (3.7) . . 3.7. 3, 4 1. ( 10 ) . 600 800 0 ( 2). , , . , .
|
|
( . 3.7. DEZn, TMGa, TMAl) H 2.
, . .
1,5 [1,7], . [1,8].
, , .