, , - . , 103 5*108 /2, .. , , , .
- , , ( ), .
- .
20 ( ). .
. , , - .
. , , .
. , , , (, , ).
, , , .
. 108-1011 /. (107 - 109 /) , , , , .
( ) . 0,8-1,0 .
|
|
, 2 5 . 30-40 % , .
() , , , . , , . , , . .
. , . . . - , , " ". . , , .
, , . . 10 .
, , , . , - . , .
- , . , .
.
"" . 150-200 ( 130 ). . ( , , ).
|
|
" ".., -
, , . , , (~ ) (~ ) , , , .
70% - , , , , , , .
, , . , . 1985 2000 .
, , , (, , , , ). ( .), (.), " " (). , , , , ( ) - . |
( , , , ) .
, 60, "Science" "Nature", , , , . , .
, 20 , . - , . 200 , . , , . . - .
|
|
, . . "", . 1400 1650 9.4 , - . - , . , , 19, 23, 41, 72 96 . , - . , . 9,45 , . , , , .
, , . , , : (MEMs) LIGA-; ; ; .
(), "-2" , . ...
LIGA- -3. , , . 0.2 , ( ) 102-103. . , .