.


:




:

































 

 

 

 


-




, , - . , 103 5*108 /2, .. , , , .

- , , ( ), .

- .

20 ( ). .

. , , - .

. , , .

. , , , (, , ).

, , , .

. 108-1011 /. (107 - 109 /) , , , , .

( ) . 0,8-1,0 .

, 2 5 . 30-40 % , .

 

() , , , . , , . , , . .

. , . . . - , , " ". . , , .

, , . . 10 .

, , , . , - . , .

- , . , .

.

"" . 150-200 ( 130 ). . ( , , ).


" ".., - , , . , , (~ ) (~ ) , , , . 70% - , , , , , , . , , . , . 1985 2000 .
 

, , , (, , , , ). ( .), (.), " " ().

, , , , ( ) - .

( , , , ) .

, 60, "Science" "Nature", , , , . , .

 

, 20 , . - , . 200 , . , , . . - .

, . . "", . 1400 1650 9.4 , - . - , . , , 19, 23, 41, 72 96 . , - . , . 9,45 , . , , , .

 

, , . , , : (MEMs) LIGA-; ; ; .

(), "-2" , . ...

 

LIGA- -3. , , . 0.2 , ( ) 102-103. . , .





:


: 2015-10-27; !; : 1054 |


:

:

- , 20 40 . - .
==> ...

1801 - | 1763 -


© 2015-2024 lektsii.org - -

: 0.011 .