:
- :
200 0,18-0,13 ;
, 150 0,5 0,35 ;
150 ;
100 150 , , ;
, , , , ;
.
- :
;
, , ;
( , , ..);
, , ;
-.
(2012-2015 ) , .
:
- ;
- ;
- ;
- ;
- , .
:
- ,
- .
2012-2015 . .
|
|
- .
.
, . , 2007-2011 .
.
2015 105,0 . .
(2016-2025 ) , , .
:
- ;
- ;
- , , , , - , .
2025 350 . .
- .
- , .
.
, .
, Intel, ASML, Lambda-Physik, Cymer ., , - ..
, .
- .
|
|
- , -, , .
.
- , , .
150 . . .
2,5; 5 12 . . 100-350 . 2012-2015 .
- ( 2020 .) .
- . , : - (EUV), (), , ..
, . 2016-2025 . 3-5- .
. - Internet.
, , .
, , , . - .
, , . - . 2016-2025 . .
- , - , .