6
6. - -
6.1
6.2
6.3
6.3.1. ,
6.3.2. ,
6.3.3
6.4
6.1
90- , . − , − .
, ,
. (6.1)
(I off) (Ion) (Io ff) / (I on)~ 0,001. [1].
() , (high-k), (), -, , - .., [2,3,4]. 90, 65, 45, 32, 22 .
, - , .
. , , , .
ITRS, .
, .
, .
|
|
6.2
() , (, ) . , -
11,7 1000 . 0,4%.
1954 . , , , [5]. , , .
( − ) 60-80 . , , . , - - .
:
, (6.2)
− , − [1], − , .
(6.2) , . .
, "" , <<1. , ~ 10 , ,
~ 0,3, .
, > 1 ("" ) , , , . , , . .
, . , . 180-200, 90 . .
|
|
- . , , − . , ( ), .
. 6.1. (). () [100] [6].
.
( ), , [100] (.6.1). : − − .
: , .
, (6.3)
− (), , .
. (6.4)
(6.5)
.
(6.6)
− . , , . - ≈ 5, - = 19.
[100] . () () (. 6.2).
. 6.2. .
[100] ( 1 2) (. 6.1, 6.2). () () . ( − 1 2). , , , . , , .
, . ,
> > 1, : .
, [100] :
. (6.7)
~ 5, 40%. , , , .
|
|
, , .
.
k = 0 ( ). , , 0,044 (.6.3).
- (.6.3). . , :
(6.8)
. 6.3. k = 0. .
- , , (6.8):
. (6.9)
k = 0 . k = 0 , .
, , . , [100]. . k = 0 (.6.4).
. 6.4. [100]. k = 0 .
- - .
( ), , > 1, . . .
, :
, - , -.