n--n -n- . - . , .
. . . , / (n-), SiO2 (), SiN4().
PSi , n-, / . , .. n- . . , , 10 , . .. . , , , .
6. - / : , - -.
- (.5). -. - , .
- - -. 1- R=25 25. - (10-20)% - - αρ.
.. , . 1- p-n-. C - f(S,N). U; Δ ≈ 20%; 1000 ; U = 7-10 .
-- - --, .. n+-SiO2-Al . , U ≤ 50 , α, = 104 /2. - - . - - - - (SiO2 Ta2O5) (). U (- ), = 900 /2 (SiO2) 3500 /2 (Ta2O5), Δ - (5-10)%. .
() , , . : , , . , , : - n- p- , - -, - .; - , - - , - , ; - - , , , , - . - - . , - ( , αl, Al2O3, .).
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7. -. -
.- - - - 1 . - / , . . , - - - . . / . ( SiO2), .. - . - , - .-.-. .. / - . . . -, - . - . SiO2 - - - .
. - - .-, . , - . . .-, - . -:
1. -:*.;*.; *. ; *-.-.
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