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II. .
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1. .
2. .
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3. .
, . : , , . , , 2,5 4 (. US 2004/0137169, . 15.07.2004]. - , 2,5-4 , .
, : ( ), 250 267 (. US 2008/0286984, . 20.11.2008).
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5. .
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6.
.1 . 1, , . 2,15 /, ( 2), 20-30 / ( 3). ( 4), 2 6 , . ( ), . , 5,2% SiH 4+Ar 1,08 / N2 0,072 / ( 5). 0,1-0,3 ( 6). 250-350 ( 7). 0,01 ( 8). , ( 9).
.2 . N2 SiH4 (10). (11), (12). (13) , - (14). (15), . (16) (19), (17) (18). ( ).
.3, , , . . 3 45 . : 3 ~100 , , Si-. , ~ 1/ since , ( ) . . 69.4, 439.91-848.8 1.64 . 632.8 . SiO2, Si3 N4 SiON . , , 2 6 .
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