[2, 3, 9, 11], . , , . , [12].
. -, , , . , () . ( ) , . , - . , . .
. , (. . 1.3.2).
, - , Si 3,6 , GaAs 4,8 , SiO2 17 [12]. - , . [12] :
, ; (1.21)
. (1.22)
, ; r , ; , . (1.21) , (1.22) .
, , [12].
, , (). (1.1). . , , , , .. . , . , , . . , ( ) . , , , , [12]. . . ( ), . . . . rd [12]:
|
|
,
Q ; k ; q, m v , .
, , .
, [12]. . () :
;
.
() / (). .
SRIM (http://www.srim.org/). . 1.12, .
, , , . . [4]. . 1.12, [7].
. 1.12. () ()
, ( ). . , . , , . -. ,
|
|
, (1.23)
Z .
(1.23) , 60 , , .