ϳ [m1] , .
. , , .
. , , . . . . , .
, 10-20 . ʳ 10 500 3000. , , , , , . .
. , . , . -, , , , . , .
, 8 /. , , , .
, . 10 0.3 . , , , 30-300 3·1010-1012 . , .
. . ³ 40-70 . г .
- 0.4-0.75 , 20 . 0.63-0.85 .
, SiO2. 1710 ºC. SiCl4 , .
:
1. ,
2.
3. 䳺
20 /, 100 /. , 䳺 . 2 / .
, , 50-70 .